广州潽拓光电科技有限公司——普发TMH071-012-005X-3P滑阀式真空泵
对于滑阀式真空泵的检修，一般要对泵*底解体，*面检查，测量滑阀与泵体之间的间隙(正常的间隙为0.04~0.12mm);检查泵内的滑阀、导轨泵偏心轮表面有无裂纹，表面有裂纹，立即更换;泵内的密封件全部更换;在泵动态运行上，可应用振动测试仪,每周对泵的振动情况作了测试，根据所测的数据，就可初步判定轴承、滑阀等部件的磨损情况，在轴承运动精度降低的情况下，就将其更换掉，避免由于轴承的磨损而导致滑阀与泵腔之间的撞击与摩擦。对修复的机械泵应用真空表，进行极限压力测试，确定泵的性能和修复效果。对于使用时间长的旧泵，泵的间隙大于0.1mm小于0.2mm，极限真空要求不是很苛刻的，还可选用运动粘度为150mm2/s的真空泵油,也可满足泵的正常工作。
由于泵腔的磨损，导致滑阀与泵腔之间的间隙大于0.2mm的泵，需要与泵的制造厂家配合，根据泵腔的磨损情况，专门制作滑阀、偏心轮、导轨，使之与泵腔保持正常的间隙;对于泵腔磨损、划伤严重的，抽空时间和极限压力不能满足工艺需要的，维修备件费用接近新泵价格一半左右的，已失去维修价值，应更换新的滑阀式真空泵。
Pfeiffer TMH071P普发涡轮分子泵进气法兰口DN40 ISO-KF，出气法兰口DN16 ISO-KF ，抽速可达到33 L/s，转速为90000rpm，对应的控制器为：Pfeiffer TC100,Pfeiffer TC600等。
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每隔3-6个月的保养内容 :
1. 真空泵油 建议使用真空泵油。
2. 新泵浦初次使用500小时后更换泵油，以后每1000-1500工作小时更换一次。
3. 换油时先将油箱内的油放完，注入少量新油，开机半分钟后再将油放完，z后注入新泵油到规定油
位。旋片：使用周期1-2年左右（10小时/天）。
轴承：约1-2年更换（10小时/天）通常在大修保养时更换。
排气过滤器：更换周期3-6个月（10小时/天），或当排气口有喷油、冒烟的现象时更换。
进气过滤器：每周清洁一次，3个月更换。
其它：注意清洁泵体，风叶及风扇罩，确保泵浦通风散热。
普发真空推出全新 HiPace 350 和 450 涡轮分子泵，该产品特别适用于质谱分析、电子显微术、测量技术、粒子加速和等离子体物理方面的应用。新产品的应用领域十分广泛，除了用于分析、真空工艺和半导体技术外，还可用于真空镀膜、研发以及工业领域。
7）真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
（8）真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
（9）真空泵的价格、运转及维修费用。
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由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。
潽拓维修/维修/保养/销售Pfeiffer普发TMH系列：
TMH064、TMH065、TMH071、TMH200、TMH260、TMH261、TMH262 、TMH301、TMH400MP、TMH520 、TMH521、TMH532、TMH1000、TMH1001、TMH1600、TMH1601、TMH261-130、TMH261-250、TMH261-250-040、TMH261-250P-3P、TMH071-010-005P、TMH071-012-005X、TMH071-012-005X-3P等
从原理上来看，涡轮分子泵是一种在壳体中快速旋转的涡轮，涡轮的各级都配备了多个转子叶片。旋转的转子叶片之间装有固定的定子盘，其叶片按相反方向放置。
通过旋转的转子叶片将动量传递到气体分子，气体分子zui初的非定向热运动变成定向运动，即从泵的进口延轴方向移动到排气口。
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