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真空泵维修后的安装要求

1.安装前应检查机组紧固件有无松动现象，泵体流道有无异物堵塞，以免泵运行时损坏旋片和泵体。

2.安装时管道重量不应加在泵上，以免使泵变形。

3.安装时必须拧紧地脚螺栓，以免起动时振动太大，影响泵的使用性能。

4.为了维修方便和使用安全，在泵的进出口管路上各安装一只调节阀及在泵出口附近安装一只压力表

5.保证在额定扬程和流量范围内运行，延长泵的使用寿命。

6.安装后拨动泵轴，旋片应无摩擦或卡死现象，否则应将泵拆开检查原因。

德国普发Pfeiffer分子泵控制器TC600适用于：

Pfeiffer TMH071分子泵,Pfeiffer TMH071P分子泵

Pfeiffer TMH261分子泵,Pfeiffer TMH261YP分子泵

Pfeiffer TMH521分子泵,Pfeiffer TMU521分子泵

Pfeiffer TMH1001分子泵,Pfeiffer TMU1001分子泵

Pfeiffer TMH1601分子泵,Pfeiffer TMU1601分子泵

Pfeiffer TPH2101P分子泵,Pfeiffer TPH2101UP分子泵

因离子泵的外壳两侧有一块大的马蹄形磁铁，烘烤温度一般不能超过说明书所规足的温度值。在烘烤时严禁撞击、敲打泵壳。因在高温下撞击、敲打，磁铁的磁性容易，从而影响抽气速率和极限真空，也可能会振断卤素灯或红外加热管中的加热丝。当不处在烘烤时，允许偶尔使用螺钉的木质或塑料端头去适当敲击其外壳，使沉积在阳极内壁和阴极表面的粉尘颗粒脱落，有助于提高抽气速率。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样，其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积，以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下，轴端是密封的，是利用带水封环的填料进行密封处理的，其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪，及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，出气法兰口DN16ISO-KF，抽速可达到60L/s, 转速为90000rpm,极限真空＜1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.

当今，现代化的半导体行业中，越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜，表面分析仪器，残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外，在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十几年来，涡轮分子泵，在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下，有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此，针对这种现状，对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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Pfeiffer TC600德国普发分子泵电源维修，pfeiffer TC600分子泵电源的原理为:将对应24V或48V或72V or 140V直流电，转换为对应PWM电压来驱动分子泵线圈，TC600可以和Pfeiffer DCU进行通信，控制分子泵转速等。Pfeiffer TC600能控制Pfeiffer TMH071,Pfeiffer TMH261,Pfeiffer TMH521等

常规的分子泵使用轴承来确保叶片的高速旋转。新型的分子泵采用磁悬浮构造，使得叶片转速不断提高的同时，更使分子泵适合超高真空系统，也延长了分子泵的使用寿命。

更换常规耗材。比如油雾分离器，密封套件、叶片等真空泵配件；特别是油雾分离器，在出现问题时一定要及时的更换。更换方法较简单只需打开端盖替换油雾分离器，注意安装是否到位。 隔膜真空泵保养中心

对真空泵电机温度高的原因分析如下。

原因分析

(1)电机功率大，工作电流大，发热量大。

(2)风扇转速低，风压，风量小。

(3)风扇叶片数较少，产生的风量小。

(4)电动机附有灰尘、油污，降低了散热能力。

(5)真空泵电机所在母线电压为380V，由于电缆压降及负荷分配不均，电机实际所加电压只有365V，电压偏低造成运行电流大。

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