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真空环境的另一个特点还在于它在较低的温度下、具有进行一定反应的能力，例如在同样温度下，有些反应过程在大气中则难以进行，但是在低压下就十分容易。这就是真空化合物分解和有色金属冶炼的基本原理。

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直联旋片真空泵的返油

　　(1)真空泵的止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。

　　(2)真空泵的两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。

　　(3)真空泵的泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。

　　(4)真空泵的排气阀片损坏 ，应进行调换。

　　注：检查直联旋片真空泵的的极限真空，以压缩式shui银真空计为准

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真空泵维修后的安装要求

1.安装前应检查机组紧固件有无松动现象，泵体流道有无异物堵塞，以免泵运行时损坏旋片和泵体。

2.安装时管道重量不应加在泵上，以免使泵变形。

3.安装时必须拧紧地脚螺栓，以免起动时振动太大，影响泵的使用性能。

4.为了维修方便和使用安全，在泵的进出口管路上各安装一只调节阀及在泵出口附近安装一只压力表

5.保证在额定扬程和流量范围内运行，延长泵的使用寿命。

6.安装后拨动泵轴，旋片应无摩擦或卡死现象，否则应将泵拆开检查原因。

德国普发Pfeiffer分子泵控制器TC600适用于：

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因离子泵的外壳两侧有一块大的马蹄形磁铁，烘烤温度一般不能超过说明书所规足的温度值。在烘烤时严禁撞击、敲打泵壳。因在高温下撞击、敲打，磁铁的磁性容易，从而影响抽气速率和极限真空，也可能会振断卤素灯或红外加热管中的加热丝。当不处在烘烤时，允许偶尔使用螺钉的木质或塑料端头去适当敲击其外壳，使沉积在阳极内壁和阴极表面的粉尘颗粒脱落，有助于提高抽气速率。

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分子泵叶片破碎是什么原因造成的呢?

 错误操作：比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。旋片真空泵维修

油棉污染：油棉变黑，发黄，建议3-4年更换分子泵油棉，Pfeiffer 复合轴承分子泵内部陶瓷轴承采用油润滑方式，可以给轴承降温，减少轴承滚珠磨损并起到清洗分子泵轴承，避免污染物附着在轴承上面，有效延长分子泵的使用寿命。

由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。shou先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。旋片真空泵维修

扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或gong等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：

① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵，旋片真空泵维修

② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。

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