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离子泵的结构（三）

(4)工作安静，分子泵 tmp-803lm现货，完全无振动、无噪音。

(5)节能。所需电力和压强成正比，刚启动时需要一定的电力，二手分子泵 tmp-803lm，随着真空度的提高则消耗电力降低。

(6)不需要真空计。由于压强和放电电流成正比，知道放电电流则知道大致的真空度。

(7)可对惰性气体排气。

(8)安装方向自由。

分子泵是高速运转的机械设备，滚动轴承常见故障很有可能会导致泵叶子粉碎立即损毁；而当滚动轴承运行状态欠佳时，会出现一系列的状况，如分子泵无法启动，运作噪声扩大，溫度或输出功率出现异常提升等，在清除外部自然环境和进排气管工作压力过高外部要素后，应尽早停泵，送至维修站开展维修。

高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行

一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查橡胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用*油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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涡轮分子泵的优势是启动快，具有抵抗各种射线的照射的能力，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，所以能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵在现今***用于高能加su器、可控热核反应装置、重粒子加su器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：　（1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。　（2)涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。　（3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

　　原因：防护网，前级管道

　　解决方法：优化系统设计

真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解决方法：检查油池

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广州潽拓光电科技有限公司——岛津二手泵TMP1500-L-SER维修 真空泵选用的建议： 1.选用的真空泵必须能抽出工艺过程中释放出来的气体。 2.选用的主泵的极限真空度必须高于被抽容器要求的真空度。 3.选用主泵的抽速必须大于工艺过程中的zui大放气量。 4.选用的真空泵其工作介质和制造泵的材料必须满足工艺要求。 5.对于连续生产的工艺，所选用的真空泵必须可靠的满足连续性生产的需要。 机械密封检修中的几个误区 弹簧压缩量越大密封效果越好。其实不然，弹簧压缩量过大，可导致摩擦副急剧磨损，瞬间烧损；过度的压缩使弹簧失去调节动环端面的能力，导致密封失效。 动环密封圈越紧越好。其实动环密封圈过紧有害无益。一是加剧密封圈与轴套间的磨损，过漏；二是增大了动环轴向调整、移动的阻力，在工况变化频繁时无法适时进行调整；三是弹簧过度疲劳易损坏；四是使动环密封圈变形，影响密封效果。 真空泵温太高 　　(1)被抽气体温度过高。解决方案：应让气体冷却后再进入真空泵内。 　　(2)吸入硬物导致真空泵体磨损。解决方案：应拆开真空泵除去硬物，对划伤部件进行修复或更换。 　　(3)真空泵冷却水流量不够。解决方案：应加大冷却水流量。 　　(4)装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。解决方案：拆开检查并重新装配 广州潽拓光电科技有限公司——岛津二手泵TMP1500-L-SER维修