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扩散泵的缺点是返油问题，加上挡油帽和冷阱及正确操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油扩散泵致命的缺点就是泵油返流污染被抽系统。经过大量的研究，现代扩散泵由于增加了挡油帽、障板和冷阱等措施，使扩散泵的返油率降得很低。所有的油扩散泵都存在一定程度的返流现象。返流的气体是少量残余的碳氢化合物。返流有两个不同性质的来源：泵油分子朝向扩散泵顶喷咀的上方运动构成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的迁移或再蒸发。利用好的锅炉和喷咀设计，可使主要的返流降至低。在顶喷咀上方设置水冷挡油帽，它已成为顶喷咀的拦截返油的水冷装置，由于不断对冷帽结构的改进，使主要返流大大降低。岛津涡轮分子泵保养公司

泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，岛津涡轮分子泵保养公司，泵长期连续运转入中压力太高；水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳；温控水量调节阀失效等。漏油。可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀（例如2X-8）等部位。

广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术，充满活力的高素质团队。

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漏水。可以发生在水管头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。大功率超标。可由长期连续工作入口压力太高、排气压力太高、杂物进入发生咬合、泵温太高、旋片等配合间隙太小、电压太高、泵液返入泵内太多等引起，会使电机损坏。应尽量避免在大功率附近长期连续运转。如果表面有沉积物，要定期拆开清除。

水下混凝土速度通道工作压力中间的关联在分子结构流的工作压力范畴内，分子泵的水下混凝土速率基本上沒有转变。由于分子结构氧化还原电位C与分子结构流动性全过程中的工作压力不相干。

卸下主、从动转子上的活塞环套甲、轴套，并作好标记。轻轻地从泵体内推出主、从动转子，并将它们用尼龙绳悬挂起来。将水套盲板从泵体上卸下（用于清洗泵体水隔层，可不拆）。使用的清洗剂清洗部件并按照工厂制定的范围更换旧的或者已经损坏的部件。每次组装建议更换新的轴承，密封，垫圈和O型圈。

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真空泵漏油部位多在轴封、放油孔、油窗、油箱等处，主要原因是磨损时间过长，密封件损坏或装配不良—未压紧和上紧螺钉时用力不均—而造成。发现某处漏油时，维修工作者和操作者应立即采取措施，不应习以为常，认为“小毛病”不伤大雅而听之任之。否则长此以往将引起泵漏气或损坏。漏油并不难解决，只须先放出泵油，拆开泄漏处以调换密封件即可。

目前已介绍过轴封漏的解决办法，对放油孔渗漏，可用铅板、橡胶纸板、耐油真空橡皮板等作成垫换上，对油窗等其他密封处漏油可同样处理。箱体本身掺漏较少见，多由砂眼引起，可用环氧树脂等堵漏剂将其封死。复合分子泵

10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱？答：①电压不稳②强干扰③高压打火④认为**11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要**仪器和特定的测试环境12、分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

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