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一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组,这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制,即前级高于某一压力,泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修 ,而当前级泵达到这一临界压力时,往往抽速会减小,这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量,这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求,必然会引起真空机组不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修


转子的油膜冷却:这种冷却方法是在罗茨真空泵入口处连接一个输油管,用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。油经过滤器器、冷却器,通过密封良好的油泵,再经过办输油管将油送到泵的入口。油滴到转子上之后,随着转子的旋转而均面在转了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵维修


这不仅将转子的热量带走,同时在两个转子表面上形成油膜,防止气体的逆流,而且还能将转子表面上依附的微细尘埃带走。在泵的出口处设有油槽,收集废油,经过过滤,冷却后重新循环使用。此种方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵维修 ,但由于泵内有油,失去了罗茨泵无油蒸汽污染真空系统的特点。再则油具有一定的粘度,对高速旋转的罗茨泵转子增加了不少的摩擦力,当然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵维修

所使用的油,要求饱和蒸汽压应尽量代。

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磁悬浮分子泵是利用磁力作用将转子悬浮于空中使转子和定子无接触运转。

其特点如下:

(1)不用任何润滑油,可实现完全无油化。

(2)由于转子与定子之间没有机械接触,轴承的寿命非常长。

(3)与传统轴承相比,转子可运行到很高的转速。

(4) 振动与噪声很低。化工泵维修

(5) 泵的安装姿态不受限制,可任意角度安装。

(6)转子采用高强度铝合金,一次高速铣削成形

(7)自平衡技术振动ji小

相比普通分子泵,它的轴承不需要润滑,所以可以排除油污染。



脂润滑分子泵特点:轴承用油脂润滑。

通常情况下有效粘度低,蒸汽压极低的轴承用油脂,使涡轮分子泵避免了在抽气时或放大气时都要小心,尤其当转子在高速工作时以免高速流动的油进到入口处。



蒸汽的影响:咱们所用的真空泵为蒸汽喷发真空泵,是以过饱满水蒸汽为作业介质的,蒸汽的状况对泵的功能有决定性的影响。湿蒸汽不只影响泵的功能,还会腐蚀蒸汽喷唬,添加泵的蒸汽用量,使泵的作业状況变得不稳定;

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半导体产业链包括上游的半导体支撑产业,中游的半导体制造产业以及下游的半导体应用产业。半导体支撑产业包括半导体材料及设备,其中真空产品主要在半导体设备领域应用;中游半导体制造的he心是集成电路制造,包括IC设计、IC制造以及IC封测;下游的半导体应用领域众多,quan球半导体应用领域排名前san的行业是通信及智能手机、PC/平板、工业/yi疗。真空泵技术升级



干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。真空泵技术升级



为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。真空泵技术升级

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