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喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种：① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵

复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在 l0 级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。

在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积，抽速很大，而牵引级沟槽抽气面积较小，在两种结构的联接处，由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变，使气体分子的运动在联接处由有序变成无序，至使返流增加，抽气能力下降。因此，在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构，以提高泵的抽气性能。

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三、热传导加热式

　　它是由导热性能良好的氧化铍陶瓷为芯，内串以铼钨丝制成的加热器。陶瓷芯上先绕一层钼箔，防止钛与氧化铍直接接触起反应，避免钛的加剧消耗。钛带缠绕在钼箔上，它们之间用氧化铪-甘油浆涂敷。

　　这种升华器从结构上将加热源和升华源分成两部分。利用放在钛球内的螺旋钨丝，由电阻加热作热源，利用辐射加热钛球，使钛不断地升华。

真空度不足

原因分析：（1）水环工作不稳定。如果进水管发生了结垢以及进口电磁阀出现了堵塞情况的时候，泵工作水供应就会因此而出现不足，从而使得水环工作不稳定，此时泵由于偏离设计工况而运行，必然会存在出力下降的情况，进而导致系统真空度下降。应对方法是清除进水管结垢，并使进口电磁阀保持通畅。（2）进口单向阀失效。当阀片由于结垢、存在锈蚀后或发生卡涩吸不上去的时候，就会导致串气现象发生，即空气会从备用泵入口被吸入工作泵，从而使得泵功耗增加以及系统真空度发生下降。应对方法是清除阀片结垢或更换新的阀片。（3）密封不良。在轴端密封不良或密封失效的情况下，如果有外部空气被吸入了真空泵内，就会导致系统真空度发生下降情况，并伴随泵的两个进气管出现温度不相同等现象。

维修处理：检查轴端，确保密封严实。有时密封水泄漏量会发生偏大的现象，如果误判是盘根压紧力不足所导致，进一步压紧盘根后，会导致摩擦力因此而增大，进而使得轴功率升高。此时真实原因可能是工作水量过大，所以压紧盘根不能盲目。

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真空泵油的饱和蒸汽压

饱和蒸汽压力的关键指标之一真空泵油。在封闭的容器在恒定的温度,蒸汽压力的压力时饱和蒸汽液体达到动态平衡。

饱和蒸汽压油应尽可能低,泵的Z大工作温度,仍然有足够的低饱和蒸汽压,低于真空泵的极限压力。60摄氏度的温度至少达到6.5 x kPa的纯(由于20摄氏度的气温升高,饱和蒸汽压即将下降一个数量级)

真空泵按结构类型可分为机械式，喷射式和吸着式，凡是利用机械运动来获得真空的泵称为机械真空泵。按其工作原理及机构特点分为变容真空泵和动量传输泵，变容式真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。这种泵分为旋转式和往复式两种，旋转式真空泵利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出，主要有有以下4 类：(1)液环真空泵;(2)油封式真空泵;(3)干式真空泵;(4)罗茨真空泵。5轴磁悬浮涡轮分子泵供应商

液环真空泵将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。当它旋转时，把工作液体抛向泵壳形成与泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。工作液体通常为水或油，所以亦称为水环真空泵或油环真空泵。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000 Pa。用油作工作液，可达130 Pa。

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