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分子泵使用过程出现的问题8总体安装注意事项

①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。②、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。④、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。⑤、确认已装入润滑油。⑥、安装方向：油绳润滑：竖直、水平；油润滑：竖直方向±5°范围内；脂润滑：任意角度

是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。

如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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为了确认磁场对分子泵工作的影响，德国卡尔斯鲁厄理工学院（）设计并执行了下面的测试：测试条件和装置被测分子泵的型号为TwisTorr304FSCFF6，使用一对亥姆霍兹线圈(直径120厘米)来产生包围整个泵的均匀磁场。使用20℃的冷却水对分子泵持续进行冷却；分子泵的控制器会自动调整电机电流，保持转子以恒定转速运行。

使用安装于分子泵口的红外温度计测量被测试分子泵的转子温度。使用连接到分子泵外壳的PT100热电阻测量定子的温度。测试过程试验期间，涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为1mT，泵在该磁场下运行12个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行12个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到7mT。

当磁场逐步增加后，被测分子泵转子的平衡温度也随之上升，当磁场强度为7mT时，平衡温度上升到100摄氏度左右（分子泵的很大允许温度为120度）。

另外，使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵，一系列的对比测试表明，分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低（5mT时，低大约40度）。

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分子泵机组耗电：

2.38kW×6720h=年耗电15993.60度×1元/度

=15993.60元原来的耗电：

8.8kW×6720h=年耗电59136度×1元/度

=59136元通过上述计算，几乎当年就能从电费一项收回投资费用：

59136-15993.60=43142.40元

第二年使用分子泵机组电费节约赢利43142.40元。

该分子泵近乎免维护，所以如果考虑维护费用，经济效益更可观。该分子泵替换运用的成功，为节能减排贡献巨大力量，做到了制造应用与双赢，并且拓展了分子泵的应用领域。其他好处除了节省成本以外，通过对分子泵替换的圆排车所制造的节能灯进行测试，灯具在产品寿命和质量上也得到明显提高，通过质谱分析，系统的油污染得到降低，光谱等分析都显示，应用分子泵排气制造的灯具性能有很大的改善。

与此同时，根据在其他多家特种灯（金卤灯、航标灯等）、车灯、半导体照明灯客户的实际应用反馈，分子泵对降低生产能耗、提高产品性能和使用寿命等方面都起到明显的促进作用。在部分国内外爱发科的照明生产企业中的应用，分子泵都得到好评和大量替换配套。结  语通过这个案例可以看出，将高压强分子泵机组直接用到圆排机上，实现了降耗节能、保证质量的目标，完全可以替代。

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