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对于不一样电级构造的inficon电容塑料薄膜真空计微电容测量电路应向着便于集成化、微型化的角度发展趋势。因为根据电源开关电容法的微电容测量电路便于集成化，而静电平衡构造的微电容测量法有扩宽动态性测量范围的优点，因而根据二者融合的微电容测量电路有希望完成对inficon电容塑料薄膜真空计总体测量特性的提高。

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利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压测量原理，对被检件的氦泄漏量进行测量。当被检件密封面有漏孔时，表明漏气的氦气和其他气体会从漏孔中排出。泄漏的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，只给出气体中的氦分压信号值。

在获得氦信号值的基础上，可以通过标准漏孔对比的方法获得漏孔对氦的泄漏量。根据泄漏检测过程中指示的泄漏气体储存位置与被检件的不同关系，可将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理。优缺点和检测标准。

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INFICON 检漏仪类型如下：

氦气吸***检漏仪

专为高要求生产环境中的不间断吸***应用而设计，灵敏度高，感应距离远  

检漏方法：吸***检漏法                                                              

气体类型：氦气

应用：元件和部件的泄漏检测  

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在压力容器中，使用氦质谱检漏仪检漏常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），吸qiang法（正压法），氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度gao些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是gao。

根据不同的漏气方法，真空法可分为真空喷射法和真空氦盖法。

真空喷射法：用喷将氦气喷射到被检产品外表面，可实现漏孔的定位；氦质谱检漏仪保养价格

真空氦罩法:用具有一定密封功能的氦罩覆盖所有被检产品，充满一定浓度的氦，可测量被检产品的总泄漏率。

真空法的优缺点

真空法的优点是检测灵敏度高，能准确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。

真空法的缺点是只能实现一个大match气压差的泄漏率检测，不能准确反映被产品的真实泄漏状态。

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