广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵
安捷伦真空分子泵分子泵特性可对轻质气体实现高压缩比,保证出色的极限压力无烃运行,可确保真空系统洁净远程控制器可在距离 100 m 处进行操作低振动和低噪音 (41 dB(A)),打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行体积小巧,可安装在任何位置,有利于轻松集成免维护轴承,零运行成本真空计读数功能,用于监测系统压力通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制,以便随时随地进行泵的操作防辐射和防磁场设计,无嵌入式电子设备,可在强磁场和辐射环境下运行低电磁辐射,确保不会干扰工艺过程
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磁场对涡轮分子泵的可能影响
当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时,会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转,并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触,涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此,转子可能会过热,即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。
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安捷伦扩散泵特点维护简单,皮实耐用不爱坏扩散泵内部没有活动部件,与机械式真空泵的磨损失效不同,其工作失效的原因主要有泵油劣化、加热器损坏、喷塔被油垢污染等等。安捷伦扩散泵管状加热器和压紧结构设计,拥有很高传热效率的同时,又保证了泵油和加热器本身都没有过热点,泵油不容易裂解,加热器也不容易损坏;同时,精细的热传导和保温结构设计,也使热损失大大降低。
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为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀,安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月,可以使用软启动功能启动分子泵,转速以阶梯方式缓慢加速,使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月,建议送回维修中心,让分子泵在检测平台上按照既定程序加速(Re-channeling),磨合轴承。
CombiNEG系列采用安捷伦科技StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂
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安捷伦分子泵采用了新的悬浮技术AFS,悬浮转子,能够有限改善震动。AFS提供了超高精度,确保了轴承对准。同时径向静止设计,极大优化转子运动形态和降低噪音。安捷伦提供从TV84FS,TV304FS,TV551,TV701,TV1001,TV2300,TV3KG等不同抽速大小的分子泵,以满足客户不同的应用需求。
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安捷伦分子泵采用新的3级TwissTorr 拖动级技术,通过分子泵旋转盘面,提高气体分子动能,从而有效提高抽速和极高的压缩比。新的拖动级技术与上一代设计相比,功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵,是目前市场上极限真空度好的干泵