广州潽拓光电科技有限公司是一家专业做莱宝分子泵维修、德国莱宝真空泵维修、原装莱宝真空泵维修、莱宝涡轮分子泵维修的公司,专业莱宝分子泵保养维修,修理,莱宝复合分子泵维修,修理,现在针对广州各地均可收件。
广州潽拓光电
BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修,爱德华STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内先进的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STPiXA3305 系列的新技术)。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。
BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
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广州潽拓光电——INFICON IKR 251高真空规
本产品的 型号为IGG25500, 输出信号是模拟型, 品牌为INFICON, 种类是真空度, 制作工艺为冷阴
该产品一般用于半导体、光学镀膜行业,为inficon定制产品。
优点:
■测量范围广:5 x 10-7~1 pa■全金属冷阴极陶瓷传感器■新型几何电极提供了很好的点火性能■降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险,即使在溅射过程中也一样■阳极环和钛阴极可清洗,更换容易■小磁场强度测量■ led指示灯电源和等离子点火■对数模拟输出信号■ fieldbus总线接口(profibus db, devicenet),集成到真空系统的网络通信
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优点 10 毫巴以上与气体类型无关 – 允许用任何混合气体安全放空 在大气压下和重复性 – 用于可靠的大气压强检测 快速大气压检测 – 无需等待时间和缩短过程周期 任意的安装方位 –