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涡轮分子泵组由一个带Holweck级的(HiPace80)涡轮分子泵和一款干式压缩隔膜泵(MVP015-2)组成。这款泵组的抽速 很高可达67l/s并且 很终真空度可达110-7 hPa。不锈钢腔体上有六个真空计连接口。如果客户要求，两个参考标准(1hPa和1,000hPa)和一个冷阴极真空计能够预装在这套系统中。比如，压力控制和归零调整的预装。

所有的真空计都进行了预校准并且符合德国认证机构(German:DeutscheAkkreditierungsstelle–DAkkS)的标准。这就使得校准真空计可以被有效的实施并且符合法律和规范要求，并且这个标准是一个国际化上认可的标准。此外， 很多四台真空计能安装在不锈钢腔体上同时进行校准。

装置内要求6台相接的真空计要求的真空度相同，谱拓认为这就需要在校准的时候，用独立的进气阀来设定并且控制真空度。

涡轮分子泵(英简:turbopumps,TMP)是由多级的，涡轮状带叶片的转子通过一个无刷直流电机驱动复合轴承构成。在转子叶片之间，有一个定子叶片，定子叶片结构与转子相似，但与转子成镜像安装。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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