广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V3K-G
分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域,由于半导体行业发展迅速,真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦),德国普发,欧瑞康莱宝, Busch,和 Osaka Vacuum等公司,其他制造商主要是国产仪器厂商,如北京北仪创新真空技术有限责任公司,成都南光机器有限公司,中科院沈阳科学仪器等企业。但是,无论是在技术还是在市场发展上,国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。
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进出口法兰、冷却水安装
①、泵入口:对正、对称拧紧
②、泵出口:防止错位
③、冷却水:无漏水;入口水压0.2MPa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀
注意:
环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃
入口压强:强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa
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分子泵:安捷伦TwisTorr涡轮分子泵采用独有的AFS悬浮轴承技术,工作时振动非常低,被广泛地应用在世界各地的众多电子显微镜上。一个位于日本的业界,从2015年起,在其生产的电子显微镜上使用了1000多台安捷伦分子泵,泵的可靠性非常接近100%,实测的振动水平低于0.01米/秒2,噪声等级更是只有40dB(A)。
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当磁场逐步增加后,被测分子泵转子的平衡温度也随之上升,当磁场强度为 7mT 时,平衡温度上升到 100 摄氏度左右(安捷伦分子泵的允许温度为 120 度)。另外,KIT 使用该测试平台测试了另一台其它品牌的分子泵,一系列的对比测试表明,安捷伦分子泵在相同的磁场条件下转子的平衡温度明显较低( 5mT 时,低大约40度)。
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安捷伦科技的真空产品涉及从科研到工业的众多应用领域,包括高能物理,半导体工艺,化学,物理分析,以及真空镀膜,热处理等众多的工业应用。产品主要包括:机械泵、涡旋式干泵、分子泵、离子泵、扩散泵、氦质谱检漏仪、阀门、真空测量及配件等。无论是用于研发的灵活可靠的系统,还是用于常规工业真空加工的热处理系统,或适合在车间中实时检测泄露的快速耐用的便携解决方案,安捷伦都可提供相应的解决方案。
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安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计,其预置了 6 个应用设置,每个应用可设置 3 组报警值,通过简择,即可完成应用设置或者在不同应用间切换。对于大多数常见应用(吸、氦气喷、高灵敏度和自动排序器等),用户可以访问合适的应用界面并按照向导正确设置参数,如此便避免了时间的浪费或造成严重错误的可能。