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改进的转子结构

TwisTorr 305 Q 系列分子泵拥有的转子结构：比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片，并采用了与其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牵引级。MacroTorr 牵引级是专为大气载而设计的，它拥有更宽大的气体通道，解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题，可以承受持续的大气体流量，并可将前级耐压提高至 16 mbar。

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国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa，抽速从20m3/h~500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

　　干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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安捷伦 AFS 悬浮轴承系统，采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体，避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击；并且由于弹性材料的阻尼效应，可以吸收各种振动的能量，降低整泵的噪音和振动。

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安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。

安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构，由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。

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安捷伦提供稳定的出色涡轮分子泵系统，在实验室和工业等广泛应用中均能提供值得信赖的真空环境。我们的涡轮分子泵解决方案配备抽速 70-700 L/s 的 TwisTorr FS 系列涡轮分子泵、3-30 m3/h 的 IDP 和 TriScroll 前级干泵、5-30 m3/h 的 DS 旋片泵以及智能压力读数真空计。此类解决方案采用创新设计，利用可配置的或一体化的平台（包括小型 TPS、台式机组、DIY 系统和移动式解决方案）满足您的所有需求。

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安捷伦Varian Turbo-V 551 Navigator涡轮分子高真空泵集成到许多分析仪器应用中，包括电子显微镜（SEM，TEM），聚焦离子束系统（FIB）和表面分析现代聚焦光束系统，如SEM，TEM和FIB利用将电子或离子投射到显微样品上的色谱柱进行详细分析。zui终用户分析从有机化合物到半导体晶片的所有类型的物质。特别是在半导体行业，它们需要更高的灵敏度以获得更好的样品分辨率。另一个关键要求是高样品通量，以降低这些仪器的拥有成本。