广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵
在Agilent TV-301的正常运行过程中,为电动机提供了933 Hz的54 Vac三相电压。为了将启动过程中的损耗降至zui低,频率会根据具有较高初始电压/频率比的斜坡而增加。泵可以是水冷式或风冷式:第yi种情况下,客户可以使用泵体上的zhuan用通道,第二种情况下,可以使用外部可选风扇。热敏电阻传感器安装在上轴承附近,以防止泵过热。
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典型的工业真空镀膜应用,包括太阳能板和平板显示器制造。Turbo-V 1K-G 的可靠设计和先进的电子设备、机架式或一体式解决方案,使其成为真空镀膜行业的zu佳分子泵解决方案。
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VARIAN TV301 NAV 具有涡轮分子泵的集成系统,具有相关的控制器,适用于高真空和超高真空应用。
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电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。