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真空泵的传动方式:
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变,故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护
Pfeiffer 普发涡轮分子泵 SplitFlow 优点
紧凑设计, 占地空间小
对所有气体的高抽吸能力和更高压缩比
集成分子泵控制器
防护类型 IP 54 适合于工业用途
准 S2 和 UL/CSA 认证
运行数据监控保证分子泵运行安全性
电机烧坏
主要为电机定子线圈烧毁,引起原因较多,如瞬间电流过大,电机轴承使用久了被磨损,致使轴承摩擦阻力变大,电机功率加大,引起温度上升,烧毁电机。这时应先检查电机轴承,再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承;电机线圈烧毁则应维修电机,重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时,就需更换电机了。Pfeiffer 普发涡轮分子泵维护
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德国普发Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵
HiPace 300-800M,ATH 500 M:抽速范围在300-800l/s的紧凑型磁悬浮涡轮分子泵。
HiPace M和ATH 500 M拥有5轴磁轴承。动平衡装置会进行自动校准,Pfeiffer磁悬浮涡轮分子泵可以Z小程度上减轻震动和工艺过程中产生的轴承位移。低能耗和极低的维护成本确保了其极高的XING价比。
优势:
1.磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装
2.集成控制器
3.清洁无油
4.高气体流量
5.低震动及低磁场干扰
6.磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿
7.转速范围大
变容积式真空泵的工作原理和优点
(1)往复真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、好凯德罗茨真空泵是靠活塞往复运动或旋转将气体吸入、压缩并排出。它们的优点是新投入使用的泵真空度相对比较高。
(2)水环真空泵是靠装在泵壳内的带有多叶片的偏心转子旋转,把水抛向泵壳形成与泵壳同心的水环,水环与转子叶片形成了容积周期变化从而将气体吸入、压缩并排出。它的优点是低真空时抽气量大、可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体。
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在复合分子真空泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。因此,在设计时应在涡轮级和牵引级转换处加上过渡级结构,以提高泵的抽气性能。
随着复合分子真空泵的不断改进,其应用领域越来越广,在某些抽气系统上可以替代扩散泵,缩短了系统的抽气时间,并可获得无油污染的清洁真空环境。
一般来讲,如果说前级泵没有问题,而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气(排除其它的漏气)、或着解吸附作用降低,说明真空泵有点脏了,需要进行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了
潽拓维修/维修/保养/销售Pfeiffer普发ATH系列:
ATH500、ATH1600M、ATH1603、ATH2300、ATH2800、ATH2804、ATH3200 、ATH3204等。
由于目前对真空镀膜设备的清洁度,镀膜层的质量,所用材料等要求的不断提高,传统的以油扩散泵为主的真空系统因油蒸汽污染的原因,已经无法满足使用要求。因此,以分子泵为主的无油真空镀膜系统已逐渐成为市场的主流。Pfeiffer 分子泵依靠自身过硬技术在分子泵领域一直处于主导地位
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