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涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。


nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。

基本的分子泵系统通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。

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XDS 泵的设计极具创新性,采用轴承屏蔽将真空环境与所有形式的润滑剂隔离开来,使之不仅完全干燥,而且完全密封。Edwards爱德华XDS10涡旋式真空泵维修,Edwards 爱德华XDS10涡旋式真空泵



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立式涡轮分子泵的优点是:真空系统的结构简单,在改装旧有扩散泵系统时可直接替代扩散泵而无须改动真空系统结构;其次是泵内只有一组涡轮叶片,因而价格较低廉。



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nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。