广州潽拓光电科技有限公司——普发分子泵分子泵真空机组

Pfeiffer普发 HiPace 1500UC涡轮分子泵维修，德国普发HiPace1500UC分子泵,适用于工业环境，可以安装在任何方向,简单可靠的集成系统,对气体中的灰尘和小颗粒不敏感,Pfeiffer HiPace 1500UC普发涡轮分子泵进气法兰口DN250 ISO-F/DN250 ISO-K/ DN250 CF-F，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1100L/s - 1450 L/s，转速；37800，极限压力：1X10-7

高真空机组

①选好主泵，主泵有扩散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)

超高真空机组

主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。

①扩散泵机组：降低返流、控制污染;

②分子泵机组：对氢压缩比小，残余气体主要是氢;

③溅射离子泵机组：通常与钛泵联合使用;

④低温泵机组：无污染。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空泵维修后的安装要求

1.安装前应检查机组紧固件有无松动现象，泵体流道有无异物堵塞，以免泵运行时损坏旋片和泵体。

2.安装时管道重量不应加在泵上，以免使泵变形。

3.安装时必须拧紧地脚螺栓，以免起动时振动太大，影响泵的使用性能。

4.为了维修方便和使用安全，在泵的进出口管路上各安装一只调节阀及在泵出口附近安装一只压力表

5.保证在额定扬程和流量范围内运行，延长泵的使用寿命。

6.安装后拨动泵轴，旋片应无摩擦或卡死现象，否则应将泵拆开检查原因。

德国普发Pfeiffer分子泵控制器TC600适用于：

Pfeiffer TMH071分子泵,Pfeiffer TMH071P分子泵

Pfeiffer TMH261分子泵,Pfeiffer TMH261YP分子泵

Pfeiffer TMH521分子泵,Pfeiffer TMU521分子泵

Pfeiffer TMH1001分子泵,Pfeiffer TMU1001分子泵

Pfeiffer TMH1601分子泵,Pfeiffer TMU1601分子泵

Pfeiffer TPH2101P分子泵,Pfeiffer TPH2101UP分子泵

因离子泵的外壳两侧有一块大的马蹄形磁铁，烘烤温度一般不能超过说明书所规足的温度值。在烘烤时严禁撞击、敲打泵壳。因在高温下撞击、敲打，磁铁的磁性容易，从而影响抽气速率和极限真空，也可能会振断卤素灯或红外加热管中的加热丝。当不处在烘烤时，允许偶尔使用螺钉的木质或塑料端头去适当敲击其外壳，使沉积在阳极内壁和阴极表面的粉尘颗粒脱落，有助于提高抽气速率。

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国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。 维修普发真空泵

潽拓维修/维修/保养/销售Pfeiffer普发TMU系列：

TMU064、TMU065、TMU071、TMU200M、TMU260、TMU261、TMU262、 TMU262X、TMU262P、TMU400M、TMU520、TMU521、TMU1000、TMU1001P、TMU1600、TMU1601、TPD011、TPD020、TPD021-0.3、TPD022等

在分子流范围内（即低于 10-3 mbar (0.75 x 10-3 Torr) 的压力），气体分子的平均自由程远大于转子和定子叶片之间的间距（通常为十分之几毫米）。相应地，分子主要与密集的转子叶片发生碰撞，从而产生gao效的抽气作用。在层流（恒流）范围内（即高于 10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 的压力），分子之间的频繁碰撞会影响转子的抽气效率。  

因此，涡轮分子泵不能在大气压力下工作

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