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涡轮分子泵的优势是启动快，具有抵抗各种射线的照射的能力，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，所以能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵在现今***用于高能加su器、可控热核反应装置、重粒子加su器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。这种泵具体可分为：　（1)牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被驱送到泵的出口。　（2)涡轮分子泵靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。　（3)复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。

有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

　　原因：防护网，前级管道

　　解决方法：优化系统设计

真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解决方法：检查油池

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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真空泵油有问题

　　(1)油位过低。解决方案：加足油量到油标中心线。

　　(3)油被沾污，油质变坏。解决方案：应更换新油。

　　(3)油的牌号不符。解决方案：换规定牌号的真空泵油。

　　(4)油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量。解决方案：检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。

真空泵按性能特点和用途分类

（1）低真空泵

泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。

（2）中真空泵

极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。

（3）高真空泵

极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。

（4）超高真空泵

极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。

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化工泵使用注意事项：

1.机械密封的拆卸必须非常小心，不能够用铁器，手锤硬质物体等敲击耐酸碱化工泵，以免破坏动、静环密封面，从而影响了密封性能。

2.一般的化工离心泵机械密封只适用在清洁的，无悬浮颗粒的介质中使用，哪里可以维修岛津真空泵，因此，对管路和储液灌应认真冲洗干净，严防固体杂质进入机械密封端面使密封失效。

3.若介质易结晶，使用机械密封应注意经常冲洗。停车后重新起动前，要将机械密封上的结晶溶解或清洗干净。

4.化工泵装配中要注意消除偏差，紧固螺钉时，要均匀拧紧，避免发生偏斜，使机封性能失效。

真空泵选用的建议：

1.选用的真空泵必须能抽出工艺过程中释放出来的气体。

2.选用的主泵的极限真空度必须高于被抽容器要求的真空度。

3.选用主泵的抽速必须大于工艺过程中的zui大放气量。

4.选用的真空泵其工作介质和制造泵的材料必须满足工艺要求。哪里可以维修岛津真空泵

5.对于连续生产的工艺，所选用的真空泵必须可靠的满足连续性生产的需要。

主真空泵选定之后,如何配置前级泵，需遵守的原则是：

① 求前级泵造成主真空泵工作所需的预真空条件；

② 抽走主真空泵产生的zui大气体量；

③ 必须满足主真空泵进气口能工作的zui大压力时所需的预抽时间要求。

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