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 复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种:一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在l0级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。osaka分子泵厂家供应

13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是比较好方式？答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

14、变频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？答：原因：电压低

在真空泵维修保养的过程中，也有必要检查油品质量。一旦发现油变质，应及时更换新油，以确保真空泵的正常运行。向轴承体中添加轴承润滑油。观察油位应在机油标记的中心线。润滑油应及时更换或补充。 　　

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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涡轮分子泵的使用要点

1、不能在前级泵工作时(前级管路接通)和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵的清洁端。

　　2、分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。

　　3、选择系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。

　　4、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。

　　5、分子泵入口应装设防护网，以避免异物进入泵内损坏泵转子和定子叶片。

真空不足：

造成真空不足的原因很多，主要有叶片磨损、缸体磨损以及密封性能降低。同时吸入气体温度太高也会造成真空不足，因此在工艺温度很高的情况下需加装冷却装置来冷却吸入气体。平时真空泵油的选用也会造成真空不足的现象发生，比如油品不好，造成乳化导致叶片不能进行正常做离心运动而导致真空度下降。

真空泵下游应用范围广泛，为满足不同市场需求，我国真空泵生产企业数量众多。其中大部分企业规模较小，创新能力较弱，技术水平较低，产品技术含量不足，特别是在关键技术领域不具备自主研发能力。与国际xian进企业相比，我国真空泵行业整体竞争能力较弱。

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往复泵的结构和工作原理如图所示，主要部件有气缸1及在其中做往复直线运动的活塞2，活塞的驱动是用曲柄连杆机构3(包括十字头)来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。

吸气剂离子泵

　　它是使被电离的气体通过电场或电磁场的作用吸附在吸气材料的表面上，以达到抽气目的的。它有如下两种型式。Osaka大阪磁悬浮分子泵维修价格

　　(1)蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。例如轨旋式离子泵(或称弹道式钛泵)。

　　(2)溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅散出来的吸气材料上以实现抽气目的的一种真空泵。

低温泵

　　它是利用低温表面捕集气体的真空泵。Osaka大阪磁悬浮分子泵维修价格

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