广州潽拓光电科技有限公司——阿尔卡特涡轮分子真空泵 Alcatel ATH1600M分子泵维修

Alcatel ATH1600M法国阿尔卡特磁悬浮分子泵维修,Alcatel ATH1600MT阿尔卡特分子泵进气法兰口DN200ISO-K/DN200CF，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1400 L/s，极限压力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,转速为15000-39000rpm，阿迪克森ATH1600MT磁悬

   真空泵维修中，一般会接到以下几个故障案例：①会出现真空泵无法启动；②真空泵达不到极限真空；③真空泵的抽速太慢；④真空泵工作中的温度过高；⑤真空泵的噪音过大；⑥真空泵漏油。本文主要来详细分析下真空泵无法启动这一个问题，用过真空泵的用户应该都会知道，使用真空泵的过程中，如果长期未使用或者出现故障时都会导致真空泵无法正常启动，例如，启动一下就会突然停下了，甚至都启动不了。Alcatel ATH1600M分子泵维修

 真空泵机械选择：

      真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵维修

      真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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单级旋片式真空泵的真空度只能到达1*10-2托，不能到达再高的原因是：

1、泵的布局上存在“有害空间”，空间中的气体是无法排除的。当旋片转过排气口后，这一有些气体又被紧缩，经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间，所以，“有害空间”越小，泵极限真空度越高。

2、泵腔被旋片分隔变成两有些:排气空间与吸气空问，两者间存在着必定的压强差。当排气空间的气体被紧缩得很小时，压弧很高，会经过各种可能的路径打破到吸气空间去，使真空度下降。真空泵养护维修

3、泵油在泵体内循环活动进程中会溶解进很多气体和蒸气。在吸气空间，因为压强较低，溶解的气体又会跑出来，使泵的真空度不易进步。

为了提高泵的极限真空度，除了提高泵体、转子、旋片的加工精度，尽量削减安装空隙和有害空间以外，真空可以认为zui有用的办法是将两只单级泵串接起来，组合成双级泵。这样，极限真空度将提高，可达10-4托(进口真空泵可到达10-5托)。真空泵养护维修

　　涡轮分子泵主要由一个外壳与转子和定子组成。旋转圆盘和固定圆盘交叉排列，一个转子盘和一个定子盘组成一个泵级。转子转动得越快，抽吸效果就越显著。现代泵的转速已高达90 000 min-1，圆周速度为 400 m/s。而在1958年Willi Becker的自制样机转速就能达到142 m/s。真空泵养护维修

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磁悬浮分子泵是利用无摩擦磁悬浮原理实现长期安全、ke靠、节能的实验室和工业的稳定流量控制的一种新的分子泵技术。它是一种分子泵，可以输送液体和气体;它将电机、变频器和线性滑动马达等相结合，实现压力、流量调节，建立完整的闭环控制系统，从而有效控制和稳定流量。涡轮分子泵养护中心

其特点如下：

（1）不用任何润滑油，可实现完全无油化。

（2)由于转子与定子之间没有机械接触，轴承的寿命非常长。

（3）与传统轴承相比，转子可运行到很高的转速。

（4）　振动与噪声很低。

（5）　泵的安装姿态不受限制，可任意角度安装。

（6）转子采用高强度铝合金，一次高速铣削成形

（7）自平衡技术振动ji小

相比普通分子泵，它的轴承不需要润滑，所以可以排除油污染

由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对qing有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对ya有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。涡轮分子泵养护中心

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

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