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涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
nEXT240D分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵,有ISO100和CF100两种入口法兰接口,对N2的抽速为240l/s。
基本的分子泵系统通常由nEXT240D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
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Edwards收购了日本精工,进一步确定了自己在IC Fab,TFT,OLED及Harddisk等生产领域的地位等分子泵。(Boc Edwards)是英国老牌真空设备供应商,Edwards 爱德华nEXT 涡轮真空泵其小巧的外形、智能化设计以及其卓*的性能将超出您的预期。
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nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。
根据应用可使用较小的前级泵。也可使用极限压力小于 5 mbar 的适用隔膜泵,例如 XDD1。
在此入口压力之上,旋转速度会降至低于标称速度。
功率限制设置为 160 W。
空气和水冷却附件须单独订购
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