广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电公司-爱德华涡轮泵

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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Edwards STP 磁悬浮涡轮分子泵系列因其质量和可靠性在市场上享有很高的声誉,并且是许多具有挑战性的半导体应用的优选分子泵。对于实验室应用,STP 磁悬浮涡轮分子泵极为可靠,并且超长时间运行而无需维护。



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Edwards 爱德华STP-A1303C磁悬浮分子泵维修,Edwards STP-A1303C英国爱德华磁悬浮分子泵进气法兰口ISO200F/ICF253/VG200,出气法兰口KF40,抽速可达到1300 L/s,转速为32500 rpm,极限压力10-7Pa (10-9Torr),STP-A1303 对应的控制器为:Edwards SCU-750





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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修

小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards先进的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其先进的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。

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立式涡轮分子泵的优点是:真空系统的结构简单,在改装旧有扩散泵系统时可直接替代扩散泵而无须改动真空系统结构;其次是泵内只有一组涡轮叶片,因而价格较低廉。



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nEXT300D 是一种是混合轴承复合分子泵。它随附 ISO100 或 CF100 入口法兰,具备 300ls-1 的 N2 抽速。