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单级旋片式真空泵的真空度只能到达1*10-2托，不能到达再高的原因是：

1、泵的布局上存在“有害空间”，空间中的气体是无法排除的。当旋片转过排气口后，这一有些气体又被紧缩，经过转子与泵腔间的缝隙又回到吸气空间，所以，“有害空间”越小，泵极限真空度越高。

2、泵腔被旋片分隔变成两有些:排气空间与吸气空问，两者间存在着必定的压强差。当排气空间的气体被紧缩得很小时，压弧很高，会经过各种可能的路径打破到吸气空间去，使真空度下降。真空泵养护维修

3、泵油在泵体内循环活动进程中会溶解进很多气体和蒸气。在吸气空间，因为压强较低，溶解的气体又会跑出来，使泵的真空度不易进步。

为了提高泵的极限真空度，除了提高泵体、转子、旋片的加工精度，尽量削减安装空隙和有害空间以外，真空可以认为zui有用的办法是将两只单级泵串接起来，组合成双级泵。这样，极限真空度将提高，可达10-4托(进口真空泵可到达10-5托)。真空泵养护维修

　　涡轮分子泵主要由一个外壳与转子和定子组成。旋转圆盘和固定圆盘交叉排列，一个转子盘和一个定子盘组成一个泵级。转子转动得越快，抽吸效果就越显著。现代泵的转速已高达90 000 min-1，圆周速度为 400 m/s。而在1958年Willi Becker的自制样机转速就能达到142 m/s。真空泵养护维修

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涡轮分子泵可短时承受大气的冲击，并有启动快、制动快、比较洁净的优点。这种泵特别适用于在大排气量下工作,压力为 10-Pa 以上时泵的排气量几乎是定的，这时只与前级泵的大小有关;在这个范围内可忽略抽速的不稳定性和润滑油的返流影响。这些特性恰好是油扩散泵所不具备的。这一特点，对于要求先抽到高真空，然后再在以压力为 0.1~1Pa的真空系统内以连续气流工作的溅射薄膜沉积来说是十分重要的。阿尔卡特涡轮分子泵维修

在这个特殊管道中，蒸汽经过喷嘴的出口到扩压器入口之间的这个区域(混合室)，由于蒸汽流处于高速而出现一个负压区。此处的负压要比工作蒸汽压强和泵出口处所能承受的大压强(反压强)低很多。阿尔卡特涡轮分子泵维修

此时，被抽气体吸进混合室，工作蒸汽和被抽气体相互混合并进行能量交换，把工作蒸汽静压能转变来的动能传给被抽气体，混合气流在扩压器扩张某而产生正激波，波后的混合气流速度降为亚音速，混合气流的压力上升。亚音速的气流在扩压器的渐扩流动时是降速增压的。混合气流在扩压器出口处，压力增加，速度下降，而后从压出口排出。故喷射泵也是一台气体压缩机。阿尔卡特涡轮分子泵维修

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 泵壳内注有循环水，在抽真空时，叶轮旋转，在离心力的作用下，泵壳内的循环水被甩至叶轮四周，在泵壳内壁形成一个旋转水环。又因叶轮是偏心安装在泵壳内的，因此水环与牙状叶片之间形成的空间大小不同。进口真空泵维修

飞轮变形或螺杆磨损

长期使用后，泵内部机械部件可能出现变形或损坏，从而影响泵的效率和性能。如飞轮变形或螺杆磨损，会导致泵的振动、噪音和效率下降，此时需要拆除故障部件并更换新的零部件。进口真空泵维修

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级。(如：真空工艺要求100Pa的真空度，选用真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求jue对压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果jue对压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置。

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