广州潽拓光电科技有限公司——瓦里安涡轮分子泵维修
分子泵的原理分子泵是一种动量型真空获得设备，子分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，***后被抽除。
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Varian SH01101UNIV - SH-110 SCROLL PUMP Varian涡旋式干泵SH110， VarianSH110是美国瓦里安公司涡旋真空泵，为用户提供一种完全无油的真空，其极限真空为0.1mabr, 抽速为：100L/M
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Varian TV301分子泵有四种规格，分别为 Item 1. TV 301 ISO100-K Item 2. TV301 ISO160-K Item 3. TV301 Cf100 Item 4. TV301 CF160
Varian Turbo-V 301 Navigator分子泵为无油、***型，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置工作而不会对材料施加应力。
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压缩比：涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。
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真空泵油积碳，发黑，像油泥一样，所以在排气口处出现冒油烟。出现这种情况时，要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，用干净的方盘接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
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