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气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：变容真空泵利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。

这种泵分为往复式及旋片式两种：（1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出

振动频率为60%-100%工作转速，或者是密封间隙过大，护圈松动，密封磨损处理方法：检查、调整或更换密封；振动频率为2倍工作转速,不对中，联轴器松动，密封装置摩擦，壳体变形，轴承损坏，支承共振，推力轴承损坏，轴弯曲，不良的配合处理方法：检查，采取相应措施，修理、调整或更换；

真空泵的注意事项1、首先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、性等；如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。2、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何，如果环境不允许有污染，可以选无油隔膜真空泵，或者把油蒸气排到室外。3、真空设备或者零部件对油污染的要求，若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：化学隔膜泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等，若要求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。4、如有多台大型水环式真空泵同时工作，循环液应该进行冷却，否则影响真空度，冷却装置可以配备冷却塔，同时须配增压泵对管路加压。5、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若环境不允许，应选择无振动的泵或者采取减震措施。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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旋片式真空泵设备润滑系统完好，润滑油质符合规定要求，并定期进行检查，换油。各种仪表（如真空表等）指示值正确，并定期进行校验；各阀门启闭灵活、密封良好，无泄漏现象；管道无泄漏，并定期进行检查。电动机配备合理，运行正常（温升和声响正常），电气线路an全可靠，有接地保护措施，电气装置（控制柜）可靠，电气仪表指示正确；安全防护装置齐全可。设备及冷却系统设施整洁，无锈蚀。水环式真空泵冷却系统运行正常，冷却装置完好，排水温度不超过规定要求，应有断水保护装置。

一般来说所用的工作液都是水。矿用单轴振动筛作用在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被压缩的气体，这样就造成了水环的温度升高。水环的部分水与气体一起压缩排除泵外。在压缩过程中产生的大部分热量被带走。因而需要不断的补充新鲜的水，以使水环泵的工作温度能够维持恒定。

电子与微电子工业：微电子技术要求电子元器件和电路的尺寸越来越小，集成度要求越来越高。这与真空技术的应用密不可分，特别是超大规模集成电路的微细加工技术，其几何图形结构的形成、超薄层生长技术、粒子束注入技术都需要高质量、清洁的真空环境，可见其发展对真空技术、装备的依存性。目前，日本真空厂商的销售额中60%左右是面向电子工业，而当今的超大规模集成电路大约有３／４的工序需要有真空条件。

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真空泵故障如何解决？真空泵维修方法

1、电机烧坏：主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。

涡轮增压分子泵的维护保养

(1)涡轮增压分子泵在工作中时因为电机转叶高速运行，对其机壳要当心维护，干万不可以有外地人撞击，不然会导致电机转子同轴度偏移或滚动轴承损伤等无法修补的常见故障。

(2)含油轴承或混和滚动轴承的涡轮增压分子泵各自每过2和四年就需要开展给油或拆换润滑油脂的维护保养工作中，那样分子泵才可以稳定、靠谱地长期性运作。

 旋片卡阻：主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，致使电机无法带动旋片。原因是旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。这时就应及时修复旋片和弹簧，若不能修复则应更换。

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