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氦质谱检漏仪

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，用这种技术检漏，简便易操作，仪器反映灵敏，精度高，不易受其它气体的干扰，以上列举的方法是检漏技术领域里经常用道的方法，包括了从小件检漏到大件检漏，从确定漏孔检漏到确定漏率检漏，比较的列举了各种检漏方法，相信在工程实际应用中有很好的参考价值。

再如高气压会干扰离子源中电子束的正常调节,还会引起高达数干伏特的离子加速电压放电,导致损坏电离室和高压供电线路。此外,高真空还有利于样品的挥发,减少本底的干扰，避免在电离室内发生分子一离子反应，减少图谱的复杂性.生成的离子在运动中也必须有一定的分子自由程，否则离子间的相互作用会引起离子偏转而到不了收集器.INFICON HLD6000维修费用

总之，在质谱测定过程中，凡是有样品分子和离子通过以及存在的地方都必须抽成高真空。压力要求为10-4~10-6Pa。真空系统一般包括低真级泵(机械泵)、真空泵(扩散泵和涡轮分子泵较常用)、真空测量仪表和真空阀件、管路等组成,以获得仪器所需的高真空度.

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体动力学效应的典型真空计有皮拉尼（Pirani）电阻规和热电偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

氦质谱检漏背压法

背压法适用于那些行业？背压法主要用于检漏各种电子元器件。

采用背压法进行泄漏检测时，首先将被检测产品放入高压氦气室中，浸泡数小时或数天。如果被检测产品表面有漏孔，氦将通过漏孔压入被检测产品的内部密封腔，从而增加内部密封腔内的氦分压。然后取出被检测产品，将表面残留的氦气吹出，然后将被检测产品放入与检漏仪连接的真空容器中。被检测产品密封腔内的氦气将通过漏孔泄漏到真空容器，然后进入氦质谱检漏仪，以测量被检测产品的总泄漏率。检漏仪给出的泄漏率值为测量泄漏率，需要通过转换公式计算被检测产品的等效标准泄漏率。

背压法的优缺点

背压法的优点是检测灵敏度高，可实现小型密封容器产品的泄漏检测，可批量检测。

背压法的缺点是大型密封容器不能泄漏，否则由于密封腔体积过大，加压时间过长。此外，每个测量泄漏率对应两个等效标准泄漏率。仔细检查后，需要采用其他方法进行粗略检查，以消除大泄漏的可能性。

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真空检漏仪由高压变压器和高频振荡*she器组成，利用高频电火花检测玻璃真空器件和玻璃系统的真空程度，适用于各种灯泡、电子管、阴极she线管、气体激光管、太阳能集热管、yi苗安瓶、药用安瓶等生产过程的检验。

利用高压变压器将220V交流电压升高到2500V或3000V，使两电极间发生火花放电，产生高频电流，并将高频电流馈送至串联的谐振电路中，再经高频变压器升压至180~210KV，*后在jian端电极上出强力火花。

螺杆真空泵不仅适应性宽，而且能在苛刻的条件下排气，同时能实现高真空度(0.1~1Pa )。 因此，随着半导体、石油化学行业的迅速发展，螺杆真空泵作为理想的干式泵开始广泛应用于电子半导体、医*化学工业领域，如半导体行业的蒸镀、蚀刻、医*化学工业行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、石*气回收等。

广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、真空检漏仪维修公司生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术，充满活力的高素质团队。

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