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一个较健全的真空系统由以下元器件构成：

1．抽气机器设备：比如各种各样真空泵；

2．真空闸阀；

3．联接管路；

4.真空测量设备：比如真空气压表、各种各样规管；

5.其他元器件：比如捕集器、除尘设备、真空汽车继电器规头、空压机储气罐等

固定的涡旋体称定子，转动的涡旋体称转子。转子无自转而以一定的回转半径平动公转。随着转子的平动公转，在两个涡旋体之间形成了吸气腔和压缩腔。吸入气体后的工作腔的容积随着转子的运动而缩小，从外圈向中心移动排出气体，连续完成了吸气、压缩和排气过程。ulvac爱发科真空泵维修

　　为了减轻泵涡旋体的重量，其基材用铝，在表面上涂镀一层特殊性能的聚四氟乙烯，以增加耐磨性和耐腐蚀性。该泵涡旋体间相邻工作腔的压差小 , 故气体泄露量小 , 泵的驱动转矩变化小，因此泵的噪昔低、振动小。

　　该泵特点是重量轻、体积小，为卧式结构，可以从大气压力下直接抽到 10-1Pa ，是一种使用范围很宽的粗抽用干式真空泵。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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旋片式真空泵能够抽除密封容器中的枯燥气体，若附有气镇设备，还能够抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及富含颗粒尘土的气体。

筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽，如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上，因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果。在设计制造中，可以通过改变螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角 ( 螺旋升角 ) 来达到较理想的抽气效果。

随着复合分子泵的不断改进，其应用领域越来越广，在某些抽气系统上可以替代扩散泵，缩短了系统的抽气时间，并可获得无油污染的清洁真空环境。

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真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。爱发科复合分子泵保养维修

如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。真空泵的价格、运转及维修费用

复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内 ((10-6 ~ 1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。爱发科复合分子泵保养维修

真空泵在工作中需要做到什么？

真空泵在工作中必须做到以下几点：1.运转中检查真空泵机体内有无异常响声，机体有无局部过热的现象。如有异常，说明设备有问题，立即报告调度室。2.注意观察真空表，真空表应大于0.04Mpa。注意观察机壳及轴承的温度，温度过高控制室将报警并停车。

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