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螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内（柱形等螺距）进行传输运动，但无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境（如抽除含粉尘气体等）。ulvac真空泵维修

真空常见故障、产生原因

1 .油量不足.油脏或乳化.泵油牌号不符或混油，夏季使用黏度过小的油 .漏气.配合间隙过大( 或有磨损和划痕) .油路不通,泵腔内没有保持适当的油量

2.泵运转中温升太高,使泵油浓度变稀，密封性变差，油蒸气压增大 .泵中隔板压入时过盈量过大,使泵腔鼓起变形，漏气.排气阀片损坏密封不好 .装配不当,端盖板螺钉松紧不一,转子轴心位移 .旋片活动不好 .被抽气体温度过高。ulvac真空泵维修

3 .进气管内的过滤网被堵 .气镇阀垫圈损坏或没拧紧 加油到油标中心换油检查轴封、排气阀、端盖、进气口等部位的密封情况，并修换密封圈检查泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，清除杂物、杂质，按精度要求修磨调节油路的进油量, 清洗时用高压空气吹通油孔,把沉积物清洗干净通冷却水降温, 检查配合间隙按精度要求进行修理修整泵腔或换泵、报废修换阀片重新装配修磨转子和旋片的配合,调换弹簧热气体被抽入泵之前加冷却装置取出进气口过滤网清洗干净烘干后再装好换垫圈,拧紧气镇阀电动机超负荷运转,甚至转不动, 发生“ 卡死”现象 。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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旋片式真空泵能够抽除密封容器中的枯燥气体，若附有气镇设备，还能够抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及富含颗粒尘土的气体。

筒式牵引级是在圆筒形的转子或定子的圆柱面上开一定断面形状的沟槽，如矩形、圆弧形、三角形及其它形状的多头螺旋槽。由于简式牵引泵型线沟槽开在转子圆柱外表面或泵体内表面上，因此可以充分利用圆柱外圆较高的线速度对气体分子进行动量传递，提高泵的抽气效果。在设计制造中，可以通过改变螺旋沟槽通道与抽气方向之间的夹角 ( 螺旋升角 ) 来达到较理想的抽气效果。

随着复合分子泵的不断改进，其应用领域越来越广，在某些抽气系统上可以替代扩散泵，缩短了系统的抽气时间，并可获得无油污染的清洁真空环境。

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多级离心泵和单级离心泵的区别，重点在于叶轮的数量上。多级离心泵的特点是压力大，流量小。单级离心泵是只有一级叶轮，特点是压力低流量大。

循环冷却水的硬度

　　循环水在真空泵中的运行过程，与低压热水锅炉中锅水运行过程很相似。酸、碱浸蚀处理：去油后进行浸蚀处理，目的是去除金属表面的氧化物，经过热处理的零件，油污已不存在，可直接进行浸蚀处理，以去除退火后的氧化层。因此，按照热水锅炉水质标准来管理真空泵水质，既可防止真空泵结垢又可防止水环真空泵腐蚀。循环水系统大都是敞开式循环系统，回水率比较高。在因资金等原因不采用离子交换设备进行水处理的情况下，一般利用一个软化水池加一个高位水池对真空泵进行供水。

总装配: 零部件和各真空室分别装好后, 要试使其转动一下, 要保证其无阻滞绞绊现象。待Z上面的前端盖装好后, 即可从上向下穿入拉紧螺栓, 拉紧后即可将机座放平。调整各真空室的进气管, 使其在同一平面上, 然后把拉紧螺栓拧紧, 并试转动连接杆, 其转力矩应小于100 公斤ö公分, 且无严重的局部阻滞感。*后装好排气阀门、单向阀等。这时可转动链轮。这样各机座就已装配完毕。Z后按前述拆泵时相反次序装配箱体部分。注意保证密封处不准漏气, 油密封室亦不准漏油。在箱盖未装之前, 装入真空泵油至视窗中心。然后试抽测, 观察有无异常情况。

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