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真空环境的另一个特点还在于它在较低的温度下、具有进行一定反应的能力，例如在同样温度下，有些反应过程在大气中则难以进行，但是在低压下就十分容易。这就是真空化合物分解和有色金属冶炼的基本原理。

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直联旋片真空泵的返油

　　(1)真空泵的止回阀未关好，停泵后，油位很快下降，可再开再停，观察变化或拆开检查。

　　(2)真空泵的两泵盖内油封装配不当或磨损，可进行调换。

　　(3)真空泵的泵盖或泵身平面不平整，可进行修整。

　　(4)真空泵的排气阀片损坏 ，应进行调换。

　　注：检查直联旋片真空泵的的极限真空，以压缩式shui银真空计为准

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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预防真空泵因缺真空泵油而卡死

1、定期更换真空泵油，根据行业不同，真空泵油的质量不同，而制定不同的更换周期，一般来说700---3000小时更换一次，同时还要更换 真空泵油过滤器，注意，每次更换真空泵油要CHE底把真空泵油更换掉，不要只是添加。

   2、定期清洗真空泵油管。

   3、定期更换真空泵油雾分离器，俗称的排气过滤器，防止真空泵油随着尾气排出真空泵，造成真空泵油的减少。

涡轮分子泵 HiPace 1500 特性

对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.

高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量

分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证

防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求

运行数据监控形成的Z高运行安全性

分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°

提供抗腐蚀型号

带节流阀和阀门的集成净化气体系统

具有Z高 1450 l/s 抽吸能力的高XING能涡轮泵

适用于轻气体和重气体的高抽吸能力

高工艺适用性，防止进入颗粒

对于重气体同样拥有高气体通过量

准 S2 和 UL/CSA 认证

运行数据监控形成的Z高运行安全性

每一台的进口真空泵都是会有很详细的保养维护说明，一般来说，只要是人们的这种进口真空泵出现问题的时候，大家都是要首先通过设备的保养维护的要求来对比查找是不是自己在进行产品的维护的时候，做的不好或者是不够，造成一种简易的故障，这些故障，一般都是按照使用说明，就可以进行很好的处理的，也是非常简单的一种故障。

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国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。 维修普发真空泵

潽拓维修/维修/保养/销售Pfeiffer普发TMU系列：

TMU064、TMU065、TMU071、TMU200M、TMU260、TMU261、TMU262、 TMU262X、TMU262P、TMU400M、TMU520、TMU521、TMU1000、TMU1001P、TMU1600、TMU1601、TPD011、TPD020、TPD021-0.3、TPD022等

在分子流范围内（即低于 10-3 mbar (0.75 x 10-3 Torr) 的压力），气体分子的平均自由程远大于转子和定子叶片之间的间距（通常为十分之几毫米）。相应地，分子主要与密集的转子叶片发生碰撞，从而产生gao效的抽气作用。在层流（恒流）范围内（即高于 10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 的压力），分子之间的频繁碰撞会影响转子的抽气效率。  

因此，涡轮分子泵不能在大气压力下工作

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