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Leybold zui早将陶瓷轴承应用于分子泵，其rotor设计充分考虑到加工的应力，转动的叶片和定子之间只有0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时，叶片端部的速度接近超音速。

涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：压缩比与前一阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时，分子泵稳定工作，减压比保持恒定。当当前级压力升至1Pa时，子压缩比开始降低，而当当前级压力升至数十帕斯卡时，压缩比急剧下降，分子泵无法正常工作。

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　　涡旋泵的气体在由涡旋转子和涡旋定子组成的月牙腔内压缩，涡旋定子固定在机架的周边上，在涡旋定子的周边上开设有吸气口，在转子和定子涡旋体中心部位开设有排气口。涡旋转子随着曲轴的回转以偏心量r为半径绕定子中心做公转运动。涡旋转子还受防自转机构的约束，不能自转，始终保持着一种固定的姿态，其中心绕涡旋定子中心作半径为r的圆周运动。