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喷射泵由工作喷嘴和扩压器及混合室相连而组成。工作喷嘴和扩压器这两个部件组成了一条断面变化的特殊气流管道。工作蒸气在高压下以很高的速度从喷嘴喷出，在喷射过程中，气流通过喷嘴可将静压能转变为动能。工作蒸汽压强和泵的出口压强之间的压力差，使工作蒸汽在管道中流动。阿尔卡特涡轮分子泵维修

涡轮分子系内的轴承，是安放在采的低真空部位的，并有密封圈挡住，不至使轴承中的润滑油或脂的蒸气直接进人泵的进气口部分。在泵工作时，由于对油蒸气有极高的压缩比，油蒸气是很难进入高真空区的。但一旦泵停止运转后，若泵内仍保持真空的话，则这些油燕气就容易扩散进入高真空区，油蒸气便沾污了泵的高真空叶轮。阿尔卡特涡轮分子泵维修

为此，在停泵后，必须立即对泵灌以干燥的空气或氮气，限止油蒸气的扩散，涡轮分子泵内各叶轮之间、动轮与泵壁之间的空都只在 1mm 左右，因此工作时应严格防止异物进入泵内。一般允许的杂散磁场约为 0.004~0.011T。阿尔卡特涡轮分子泵维修

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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在低温下，轴承润滑剂具有很高的粘度（低润滑作用），可能导致轴承润滑不良和分子泵启动电流过大。即使泵看起来启动正常，也可能会对轴承造成一定的损伤，长期来看，这将影响泵的可靠性。安捷伦分子泵允许的正常工作温度范围是 5-35 摄氏度，在环境温度低于 5 摄氏度时，需要采取一定的加温措施。

避免真空泵温度过高：较为非常容易了解这一点，半导体材料在真空泵的运用中，有害物质比较多，而不论是干试真空泵還是骨架密封机械泵，泵腔内温度过高，高溫下物品及有害气体便会非常容易产生风险。 进口泵维修

应小心防止固体物质(金属碎片、玻璃碎片等)。)不会掉入真空泵并擦伤真空泵的运动部件。当真空泵长时间停机时，应将其存放在干燥清洁的环境中，并堵住吸入口和排出口，以防灰尘落入。

真空泵选型前，先来弄清楚几个基础概念： 真空 现实中是不存在真正的真空的，通常我们把容器内气压低于正常大气压（101325 Pa）的状态都称之为真空状态。进口泵维修

容积式真空泵

容积式真空泵适用于低真空的泵速较慢的场合，主要用来创建中等至低真空环境。容积式真空泵使用气体压缩作为原理，通过泵出气体并将其压缩进入泵房，从而实现真空抽取。

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分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。卧式涡轮分子泵，这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。立式涡轮分子泵，泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大，通常在lmm左右，因此泵工作时很安全。真空泵维修价格

薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜，这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成，是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积（CVD）、蒸发和溅射PVD。一般来说，其中还要夹杂低温（≤500℃）退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。真空泵维修价格

IC制造行业属于典型的技术密集型行业，产品技术含量非常高，同时对配套产业要求较高，其中就包括真空设备配套产业。真空设备（真空阀、真空泵、真空腔体及管道等）是半导体各工艺制程环节必备的通用设备，广泛应用于芯片生产制造过程。真空泵维修价格

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