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真空泵排气孔喷油有两种原因所致：

1、真空加油过量，导致进口真空泵在工作时真空油随排气口喷出。

2、密封溶剂太大，选用的真空泵抽气速率太小。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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Agilent Turbo-V 1K-G 涡轮分子泵代理及维修

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高通量 Agilent Turbo-V 1K-G 涡轮分子泵是一种zhuan用真空泵系统，抽速可达 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 专为工业应用而设计，尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化，能够在高温负载和极高呀气流下工作。

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agilent TV 301安捷伦分子泵，agilent TV 301安捷伦分子泵导航器不含污染物，因此适用于需要“清洁”真空的应用。它配备有辅助连接器，以提供一个附加的风扇，以控制排气阀，该风扇通过通过串行线（RS232或RS485）连接的主机从远程站点进行控制

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涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度