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广州潽拓光电公司-varian真空泵维修保养

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  • 主营产品:分子泵控制器,真空分子泵,AE电源,真空油泵,真空系统
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 压缩比   涡轮分子泵的压缩比是指前级管道(排气口处)的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同,泵对各种气体的压缩比也不同。气体分子量M 的平方根与压缩比K 的关系如图6所示,泵对氢的压缩比很小,一般为1000 左右,这样一来如果前级管道中氢的压力为1 10- 7 Torr(13.33 Pa),那么进气口处氢的压力则小1000倍,即为1 10- 10 Torr(13.33 nPa)。