广州潽拓光电科技有限公司——OSAKA分子泵
大阪真空涡轮分子泵越来越多地用于现代半导体工业。 溅射、蚀刻、蒸发、注入、分子束外延和离子处理等设备都需要在真空环境中运行。 近十年来,国内外涡轮分子泵得到了显着的改进和发展。 在涡轮分子泵的应用日益增多的情况下,干式前级泵并没有得到广泛的推广和应用,有时不得不使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前级泵。 因此,针对这种情况,涡轮分子泵的合理选择和正确运行显得非常重要。
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大阪涡轮(复合)分子泵
用 途■小型实验设备的排气■装载室,搬送式排气■分析?测量仪器的排气■吸附?搬送■的排气■封装排气■电子,离子源的排气■干燥■溅射蒸镀等PVD设备排气■小型炉排气■分子泵等高真空泵的辅助泵
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涡轮分子泵的优点是启动快,耐各种射线的照射,日本OSAKA大阪真空泵维护,耐大气冲击,无储气和解吸作用,无油蒸气污染或污染,可获得洁净的超高真空. 涡轮分子泵广泛应用于需要高真空度的高能、可控热核反应堆、重粒子以及真空镀膜工艺等领域。
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广州潽拓光电专*代理OSAKA TG700M分子泵,专*从事OSAKA TG700M分子泵维修 OSAKA TG700M涡轮分子泵
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涡轮分子泵的应用特点
抽速大、无油、启动快、无油污染、维护简单
工作范围:清洁的低真空~中、高真空,大气~超高真空
极限真空:10/ 10torr
缺点:结构复杂、对轴承耐磨程度要求高、制造成本高