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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦进口分子泵

改进的转子结构

TwisTorr 305 Q 系列分子泵拥有的转子结构：比其他 305 分子泵增加了一级涡轮叶片，并采用了与其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牵引级。MacroTorr 牵引级是专为大气载而设计的，它拥有更宽大的气体通道，解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题，可以承受持续的大气体流量，并可将前级耐压提高至 16 mbar。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦进口分子泵

国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa，抽速从20m3/h~500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。

　　干式真空泵主要应用于半导体、化工、电影、仪器、、食品等范围广泛的行业，市场上超过50%的产品是进口品牌，尤其在半导体行业中，绝大多数的真空泵均为国外品牌，国产真空泵主要应用于化工等行业。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦进口分子泵空挡滑行不可取

分子泵工作时转速很高（数万转/分钟），加减速过程中，不可避免的要经过某些危险的共振频率，长时间在这些共振频率运转，会增加轴承负荷、进而增加分子泵故障的风险。在真空下自然停泵（空挡滑行）时，由于真空下空气阻力很小，分子泵转子要经过几十分钟甚至数小时的时间才能完全停止，其中在共振频率运转的时间也会比较长。一般建议分子泵停机时，手动或者通过充气阀（Vent Valve），通过充气口充入空气/氮气，增加转子阻力使其快速停机；手动充气时，要注意控制充气速度，使停机时间和分子泵启动时间相当（根据泵的大小不同而不同，一般为 3-10 分钟）。

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涡轮泵以满转速持续运行。初始的磁场设置为 1mT ，泵在该磁场下运行 12 个小时以稳定转子温度；然后关闭磁场，再运行 12 个小时以使转子降温；然后再分别把磁场设置为 2mT，按照前面的步骤继续进行测试，直至磁场增加到 7mT 。修复应用中使用技术，MACHINA 可以协助 OPD 实验室内部艺术品的修复，由于一些尺寸较大或者极其精致的作品可能无法移动，它也可以被轻松移动到现场或者其他的实验室和博物馆。