广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵

滑阀式真空泵市场

　　国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵维修问题

分子泵噪音大如何界定？是否有合格标准，是多少？

　　答：小于72db合格，噪音的大小不太好界定，需要仪器和特定的测试环境

分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？

　　答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

分子泵电源存在接地、屏蔽等问题，应如何做才是佳方式？

　　答：电源本身有接地线，只需要保证市网有良好接地就可以了；屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

频器电源，转速上升过程中就自动关机，即显示“Poff”？

　　答：原因：电压低

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵市场

　　分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。

　　由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

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油池安装注意事项　　①、拆油

　　②、油量控制

　　③、油池卫生，防颗粒

　　④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

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安捷伦科技的真空产品涉及从科研到工业的众多应用领域，包括高能物理，半导体工艺，化学，物理分析，以及真空镀膜，热处理等众多的工业应用。产品主要包括：机械泵、涡旋式干泵、分子泵、离子泵、扩散泵、氦质谱检漏仪、阀门、真空测量及配件等。无论是用于研发的灵活可靠的系统，还是用于常规工业真空加工的热处理系统，或适合在车间中实时检测泄露的快速耐用的便携解决方案，安捷伦都可提供相应的解决方案。

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安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计，其预置了 6 个应用设置，每个应用可设置 3 组报警值，通过简择，即可完成应用设置或者在不同应用间切换。对于大多数常见应用（吸、氦气喷、高灵敏度和自动排序器等），用户可以访问合适的应用界面并按照向导正确设置参数，如此便避免了时间的浪费或造成严重错误的可能。