广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦真空分子泵

分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域，由于半导体行业发展迅速，真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦)，德国普发，欧瑞康莱宝， Busch,和 Osaka Vacuum等公司，其他制造商主要是国产仪器厂商，如北京北仪创新真空技术有限责任公司，成都南光机器有限公司，中科院沈阳科学仪器等企业。但是，无论是在技术还是在市场发展上，国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。

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进出口法兰、冷却水安装

　　①、泵入口：对正、对称拧紧

　　②、泵出口：防止错位

　　③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀

注意：

环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃

　　入口压强：强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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气载、热气体、突变气载

　　a 引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效

　　b. 措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间7磁场屏蔽出现的问题

　　旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：

　　①、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；

　　②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；

　　③、由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；

　　④、转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。

　　分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。

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为什么要选择涡旋式无油干泵IDP-3？极低维护成本IDP-3的采购价格及维护包价格只是隔膜泵的一半更换操作快捷15分钟即可完成的密封条更换工作降低音频噪声—提高用户体验使用精密的测声计，并通过ISO标准进行测试：在操作人员位置的测试结果表明，IDP-3的噪声会小于油封式真空泵2dB

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分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

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许多设备在工作时都会产生磁场，比如，家用电冰箱的磁场强度约有10高斯（1mT），MRI 的磁场强度甚至会高达 3T；尽管可以采取屏蔽等措施，仍然可能会有外漏的杂散磁场，对工作在附近的分子泵产生不好的影响。

MACHINA中应用的真空产品

MACHINA 工作时需要稳定的真空环境，以避免高速粒子束和残留气体分子之间的任何相互作用，该项目设计团队选择了安捷伦的涡轮分子泵作为主泵。安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑，可以任意角度安装，而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动；对于一个紧凑便携的系统而言，这些特点至关重要。