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OSAKA TG3413E ＋ tc3200 控制器：

辅助泵的容量是3000L/min情况下的*大容许流量[ 使用环境温度]极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。[ 对应气体种类 ]由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化

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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面：压缩比与阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时，分子泵稳定工作，减压比保持恒定。当当前级压力升至1Pa时，子压缩比开始降低，而当当前级压力升至数十帕斯卡时，压缩比急剧下降，分子泵无法正常工作。

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