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Alcatel ATH1600M法国阿尔卡特磁悬浮分子泵维修,Alcatel ATH1600MT阿尔卡特分子泵进气法兰口DN200ISO-K/DN200CF，出气法兰口DN40 ISO-KF，抽速可达到1400 L/s，极限压力4.5X.10-6 mTorr/6X10-9 mbar,转速为15000-39000rpm，阿迪克森ATH1600MT磁悬

   真空泵维修中，一般会接到以下几个故障案例：①会出现真空泵无法启动；②真空泵达不到极限真空；③真空泵的抽速太慢；④真空泵工作中的温度过高；⑤真空泵的噪音过大；⑥真空泵漏油。本文主要来详细分析下真空泵无法启动这一个问题，用过真空泵的用户应该都会知道，使用真空泵的过程中，如果长期未使用或者出现故障时都会导致真空泵无法正常启动，例如，启动一下就会突然停下了，甚至都启动不了。Alcatel ATH1600M分子泵维修

 真空泵机械选择：

      真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。Alcatel ATH1600M分子泵维修

      真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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涡轮分子泵可短时承受大气的冲击，并有启动快、制动快、比较洁净的优点。这种泵特别适用于在大排气量下工作,压力为 10-Pa 以上时泵的排气量几乎是定的，这时只与前级泵的大小有关;在这个范围内可忽略抽速的不稳定性和润滑油的返流影响。这些特性恰好是油扩散泵所不具备的。这一特点，对于要求先抽到高真空，然后再在以压力为 0.1~1Pa的真空系统内以连续气流工作的溅射薄膜沉积来说是十分重要的。阿尔卡特涡轮分子泵维修

在这个特殊管道中，蒸汽经过喷嘴的出口到扩压器入口之间的这个区域(混合室)，由于蒸汽流处于高速而出现一个负压区。此处的负压要比工作蒸汽压强和泵出口处所能承受的大压强(反压强)低很多。阿尔卡特涡轮分子泵维修

此时，被抽气体吸进混合室，工作蒸汽和被抽气体相互混合并进行能量交换，把工作蒸汽静压能转变来的动能传给被抽气体，混合气流在扩压器扩张某而产生正激波，波后的混合气流速度降为亚音速，混合气流的压力上升。亚音速的气流在扩压器的渐扩流动时是降速增压的。混合气流在扩压器出口处，压力增加，速度下降，而后从压出口排出。故喷射泵也是一台气体压缩机。阿尔卡特涡轮分子泵维修

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一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组，这有几方面的原因。流量的连续性就是其中之一。高真空泵都有前级耐压的限制，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修 ，而当前级泵达到这一临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必然会引起真空机组不能正常工作。ALCATEL 5011分子泵维修

转子的油膜冷却:这种冷却方法是在罗茨真空泵入口处连接一个输油管，用均匀滴下的冷却油带走转子的热量。油经过滤器器、冷却器，通过密封良好的油泵，再经过办输油管将油送到泵的入口。油滴到转子上之后，随着转子的旋转而均面在转了子的表面上。ALCATEL 5011分子泵维修

这不仅将转子的热量带走，同时在两个转子表面上形成油膜，防止气体的逆流，而且还能将转子表面上依附的微细尘埃带走。在泵的出口处设有油槽，收集废油，经过过滤，冷却后重新循环使用。此种方法效果良好。ALCATEL 5011分子泵维修 ，但由于泵内有油，失去了罗茨泵无油蒸汽污染真空系统的特点。再则油具有一定的粘度，对高速旋转的罗茨泵转子增加了不少的摩擦力，当然使泵的功率消耗增加。ALCATEL 5011分子泵维修

所使用的油，要求饱和蒸汽压应尽量代。

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