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半导体器件的生产制造工艺极其复杂，需要在高纯度硅片上执行一系列精密的物理或者化学操作，例如掺入相应的其它元素、形成多种金属薄膜和绝缘膜、进行表面的刻蚀处理等。这些复杂的生产制造工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，而且对真空系统和真空设备的洁净度也有着很高的要求。分子泵养护 

罗茨真空泵在石油、化工、塑料、nong药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。同时也广泛用于石油、化工、冶金、纺织等工业。真空泵配件作为真空泵消*器，用于真空泵的噪声治理。分子泵养护

转子的内部冷却:为了使罗茨真空泵在更高压差下工作，可采取更有效的冷却方法，即将转子用循环油冷却，在泵轴两端分别有油孔、油径轴头打入，经转子内壁再从另一端排出。冷却油除冷却转子外，还润滑齿轮和轴承。这种冷却效果较好，泵在运转时转子温度低于外壳温度，大泵常采用这种方式。 分子泵维修，例如在80Torr压差下工作时，罗茨真空泵转子温度较外壳低78度，同时还发现泵负荷越重时，则间隙越大，这是因为转子用油冷却，温度比壳体低，负荷越大，壳体膨胀越厉害，轴间距加大，所以间隙会增大。

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旋片泵为双级结构，是由高压级与低压级二部分组成，它的吸入口与真空容器或真空设备连接，在运转时容器内的气体将大量吸入与排出。当设备获得真空时，高压级排气阀片将封闭，高压级吸入的气体将转送到第二级，并经第二级吸入与排出，这样真空设备可获得一定的真空。根据用户使用情况，可配备真空增压泵，将该泵做为前级泵，由于增压泵的抽气力加强，前级泵连续抽除，能使设备获得更高的真空。分子泵升级改造

真空泵抽不出液体

　　1.没有灌注液体。解决方案：重新灌真空泵。

　　2.吸入管、出管或真空泵的流道堵塞。解决方案：消除杂物

　　3.吸入管或真空泵内没有排净气体。解决方案：检修吸入管路并排净气体

　　4.吸上高度超过允许范围。解决方案：按允许吸上高度重新按装真空泵

　　5.压出管路太细，管路损失太大。解决方案：换适合的压出管路

　　6.使用扬程超过了设计扬程。解决方案：重新选真空泵

　　7.输送热的、挥发性的介质。解决方案：降低吸程或采用倒灌按装。

　　8.转向反了。解决方案：纠正转向

压缩比 涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。 泵对氢的压缩比很小，一般为1000左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为110-7Torr（13.33Pa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为110-10Torr（13.33nPa）。由于氢是超高真空系统中主要的残余气体，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。分子泵升级改造

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在低温下，轴承润滑剂具有很高的粘度（低润滑作用），可能导致轴承润滑不良和分子泵启动电流过大。即使泵看起来启动正常，也可能会对轴承造成一定的损伤，长期来看，这将影响泵的可靠性。安捷伦分子泵允许的正常工作温度范围是 5-35 摄氏度，在环境温度低于 5 摄氏度时，需要采取一定的加温措施。

避免真空泵温度过高：较为非常容易了解这一点，半导体材料在真空泵的运用中，有害物质比较多，而不论是干试真空泵還是骨架密封机械泵，泵腔内温度过高，高溫下物品及有害气体便会非常容易产生风险。 进口泵维修

应小心防止固体物质(金属碎片、玻璃碎片等)。)不会掉入真空泵并擦伤真空泵的运动部件。当真空泵长时间停机时，应将其存放在干燥清洁的环境中，并堵住吸入口和排出口，以防灰尘落入。

真空泵选型前，先来弄清楚几个基础概念： 真空 现实中是不存在真正的真空的，通常我们把容器内气压低于正常大气压（101325 Pa）的状态都称之为真空状态。进口泵维修

容积式真空泵

容积式真空泵适用于低真空的泵速较慢的场合，主要用来创建中等至低真空环境。容积式真空泵使用气体压缩作为原理，通过泵出气体并将其压缩进入泵房，从而实现真空抽取。

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