广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V 2300真空泵维修

分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域，由于半导体行业发展迅速，真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦)，德国普发，欧瑞康莱宝， Busch,和 Osaka Vacuum等公司，其他制造商主要是国产仪器厂商，如北京北仪创新真空技术有限责任公司，成都南光机器有限公司，中科院沈阳科学仪器等企业。但是，无论是在技术还是在市场发展上，国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V 2300真空泵维修

进出口法兰、冷却水安装

　　①、泵入口：对正、对称拧紧

　　②、泵出口：防止错位

　　③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀

注意：

环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃

　　入口压强：强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V 2300真空泵维修

气载、热气体、突变气载

　　a 引起问题：温度升高；动静片变形；转子上移；润滑失效5℃原则；轴承失效

　　b. 措施：加大水冷；增加冷却装置；缩短换油时间7磁场屏蔽出现的问题

　　旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：

　　①、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；

　　②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；

　　③、由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；

　　④、转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。

　　分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V 2300真空泵维修

为什么要选择涡旋式无油干泵IDP-3？极低维护成本IDP-3的采购价格及维护包价格只是隔膜泵的一半更换操作快捷15分钟即可完成的密封条更换工作降低音频噪声—提高用户体验使用精密的测声计，并通过ISO标准进行测试：在操作人员位置的测试结果表明，IDP-3的噪声会小于油封式真空泵2dB

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V 2300真空泵维修

安捷伦真空：分子泵使用中的注意事项：

分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦Turbo-V 2300真空泵维修

安捷伦提供TPS Mini紧凑型、TPS Flexy自由组合式、TPS Compact便携式、TPS Bench台式、TPS Mobile可移动式5种分子泵机组，形式多样，可根据客户应用和需求进行选择。前级泵分油式和干式两类，前级油封旋片泵的抽速范围从1.8-20.5m3/h，前级干泵提供的抽速范围从0.6-30m3/h，极大的满足了不同客户的应用需求。配置的FRG700全量程主动式真空计为皮拉尼和冷阴极组合式真空计，测量范围从大气至5*10-9mabr，满足了一测量真空的应用需求，简单方便。多功能，快速变化的样品架，可以测量固体、薄 膜、粉末以及液体样品。

安捷伦扩散泵特点用冷却水少，对冷却水温度要求不高与普通的扩散泵相比，同样规格的泵，安捷伦扩散泵仅需要50%甚至更低的冷却水流量。而且，安捷伦扩散泵对冷却水的温度要求不高，只要保证排放温度不高于54度即可，当水压较低排水温度高于54度时，还可以采用将冷却水管并联的方式扩展使用区间。