广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦分子泵控制器
气载、热气体、突变气载
a 引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效
b. 措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间7磁场屏蔽出现的问题
旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:
①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;
②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;
③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;
④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。
分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。
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为什么要选择涡旋式无油干泵IDP-3?极低维护成本IDP-3的采购价格及维护包价格只是隔膜泵的一半更换操作快捷15分钟即可完成的密封条更换工作降低音频噪声—提高用户体验使用精密的测声计,并通过ISO标准进行测试:在操作人员位置的测试结果表明,IDP-3的噪声会小于油封式真空泵2dB
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安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品,TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵在具有高可靠性的同时,还能做到更经济。
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安捷伦真空近年来陆续发布了多个型号的 TwisTorr 分子泵,该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了超高真空(参考文章:安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍)。近日,针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用,安捷伦真空又发布了 TwisTorr 305 Q 系列分子泵。
抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的,也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时,安捷伦对外发布的各项参数和曲线,比如下图的抽速和压缩比曲线,都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的资质,在此不再展开描述。
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安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动。
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安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异,分子泵的工作寿命差别很大,但是如果分子泵已经工作了很长时间(5年以上),或者出现了噪音、温度、功率异常,及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。
安捷伦涡旋式干泵采用两个涡旋盘复合成的机械结构,由一个涡旋嵌入另一个涡旋并转动来捕集气体。进入涡旋槽内的气体被移动压缩到涡旋的中信并被排出。涡旋式干泵具有噪音低,震动小,结构简单,运行稳定,维护间隔周期长等优点,而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。