广州潽拓光电科技有限公司——安捷伦进口分子泵

分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

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许多设备在工作时都会产生磁场，比如，家用电冰箱的磁场强度约有10高斯（1mT），MRI 的磁场强度甚至会高达 3T；尽管可以采取屏蔽等措施，仍然可能会有外漏的杂散磁场，对工作在附近的分子泵产生不好的影响。

MACHINA中应用的真空产品

MACHINA 工作时需要稳定的真空环境，以避免高速粒子束和残留气体分子之间的任何相互作用，该项目设计团队选择了安捷伦的涡轮分子泵作为主泵。安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑，可以任意角度安装，而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动；对于一个紧凑便携的系统而言，这些特点至关重要。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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安捷伦真空：分子泵使用中的注意事项：

分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

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安捷伦提供TPS Mini紧凑型、TPS Flexy自由组合式、TPS Compact便携式、TPS Bench台式、TPS Mobile可移动式5种分子泵机组，形式多样，可根据客户应用和需求进行选择。前级泵分油式和干式两类，前级油封旋片泵的抽速范围从1.8-20.5m3/h，前级干泵提供的抽速范围从0.6-30m3/h，极大的满足了不同客户的应用需求。配置的FRG700全量程主动式真空计为皮拉尼和冷阴极组合式真空计，测量范围从大气至5*10-9mabr，满足了一测量真空的应用需求，简单方便。多功能，快速变化的样品架，可以测量固体、薄 膜、粉末以及液体样品。

安捷伦扩散泵特点用冷却水少，对冷却水温度要求不高与普通的扩散泵相比，同样规格的泵，安捷伦扩散泵仅需要50%甚至更低的冷却水流量。而且，安捷伦扩散泵对冷却水的温度要求不高，只要保证排放温度不高于54度即可，当水压较低排水温度高于54度时，还可以采用将冷却水管并联的方式扩展使用区间。

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除此之外，安捷伦真空可以提供各种抽速的涡旋干泵、各种类型的真空计、电磁噪声几乎为零的各种真空泵控制器等，另外，基于其在聚束系统广泛的知识和灵活的制造能力，还可以为特定系统定制特殊的离子泵，还可以为敏感的显微镜应用提供先进的振动模拟和测试。

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Agilent 1260 Infinity脱气机 G4225A 型号，由四个单独的真空腔以及半渗透性管、真空泵和控制组件组成。打开真空脱气机的电源开关后，控制组件就会开启真空泵，真空泵可使真空腔内产生低压。其压力由压力传感器测定。通过控制空气入口过滤器漏率和使用压力传感器调节真空泵，真空脱气机可以保持低压状态。

溶剂瓶中的溶剂在 LC 泵的抽动下流过真空腔内的半渗透性管。当溶剂流过真空腔时，溶剂中溶解的气体将渗过这些管，进入真空腔。当溶剂离开真空脱气机的出口时，就已经完成了脱气。