广州潽拓光电科技有限公司——OSAKA真空分子泵
大阪真空涡轮分子泵越来越多地用于现代半导体工业。 溅射、蚀刻、蒸发、注入、分子束外延和离子处理等设备都需要在真空环境中运行。 近十年来，国内外涡轮分子泵得到了显着的改进和发展。 在涡轮分子泵的应用日益增多的情况下，干式前级泵并没有得到广泛的推广和应用，有时不得不使用油封机械泵作为涡轮分子泵的前级泵。 因此，针对这种情况，涡轮分子泵的合理选择和正确运行显得非常重要。
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大阪涡轮（复合）分子泵
用 途■小型实验设备的排气■装载室，搬送式排气■分析?测量仪器的排气■吸附?搬送■的排气■封装排气■电子，离子源的排气■干燥■溅射蒸镀等PVD设备排气■小型炉排气■分子泵等高真空泵的辅助泵
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大阪真空的电机直连罗茨真空泵(RD系列,RA系列),设计紧凑,易于串联成真空泵组。同时提供皮带驱动式大型罗茨真空泵(R系列)，适用于宇宙试验等大容积的排气。
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罗茨泵运转条件，与进口压强和出口压强的压差有关。如果超过允许压差，电动机负荷会加大，同时导致过热。
大阪真空的罗茨系列有可安装旁通阀，在压差超过允许值时自动进行回气。所以在进口压力高的领域也能*大限度地发挥排气能力
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我司精工精修OSAKA全系列分子泵，二手OSAKA分子泵保养，真空分子泵维修，分子泵保养
立式涡轮分子泵的优点是：真空系统的结构简单，在改装旧有扩散泵系统时可直接替代扩散泵而无须改动真空系统结构；其次是泵内只有一组涡轮叶片，因而价格较低廉
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