广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵 进口分子泵维修电话

轴承、减震维护 随着分子泵使用时间延长，分子泵轴承在高速运转中受到的磨损越来越严重，减震系统的减震能力越来越差，到一定程度后必须进行更换，否则可能出现更大程度的损坏。判断标准：分子泵的振动突然增大，声音出现异常；分子泵启动时间增长或无法达到正常转速。判断标准：分子泵的振动突然增大，声音出现异常；分子泵启动时间增长或无法达到正常转速。进口分子泵维修电话

由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好，因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级，抽速可以达到1000L/s，达到大抽速的压力区间是1~10-8Pa之间，因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。进口分子泵维修电话

清洗  分子泵使用一定时间后，在系统漏率和系统卫生没有变化的情况下，真空性能下真空性能下降很多，甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能。这时应对泵进行清洗。 注意!! 分子泵如果污染严重，则必须完全拆开，由技术人员处理。严禁未经培训和真空性能下降很多，甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能。这时应对泵进行清洗。授权的人员私自拆泵。进口分子泵维修电话

广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵 进口分子泵维修电话

企业视频展播，请点击播放

视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵 ALCATEL 5011分子泵维修

复合分子泵作为氦质谱检漏仪的重要部件，其自身的几何参数在影响抽气性能的同时也影响检漏仪的检测性能。基于分子泵抽气基本理论，建立了复合分子泵牵引级的计算模型，通过改变螺旋升角、ALCATEL 5011分子泵维修 ，牵引槽深度和转子与定子的间隙，分别计算了复合分子泵牵引级对氦质谱检漏仪涉及到的2种气体——空气和氦气在不同工况下的抽气性能，研究了复合分子泵牵引级参数对氦质谱检漏仪检测性能的影响。

一、真空泵正常运转使用时，每三天对以下内容进行一次点检：

A、泵油是否在游标范围以内

B、泵油是否有变黄变黑、混浊现象

C、声音是否出现异响

D、真空泵运行时是否出现漏油

分子泵的部件是旋转叶片和固定叶片。旋转叶片的转速达1800～90000rpm，叶片端的速度达数百m/s，接近分子的平均速度，通过和气体分子的碰撞将气体分子搬运到排气口。当对向设置的旋转叶片进行高速转动时，气体分子从吸气侧运动到排气侧的几率是A，气体分子从排气侧反向运动到吸气侧的几率是B。旋转叶片撞击气体分子，气体分子碰到固定叶片之后再次飞向下一个旋转叶片，终被弹向排气口，使得A>B，实现排气功能。

广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵ALCATEL 5011分子泵维修

广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵 真空泵维修价格

分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。复合分子泵它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。卧式涡轮分子泵，这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。立式涡轮分子泵，泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大，通常在lmm左右，因此泵工作时很安全。真空泵维修价格

薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜，这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成，是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积（CVD）、蒸发和溅射PVD。一般来说，其中还要夹杂低温（≤500℃）退火工艺等热处理工艺，用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境，一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。真空泵维修价格

IC制造行业属于典型的技术密集型行业，产品技术含量非常高，同时对配套产业要求较高，其中就包括真空设备配套产业。真空设备（真空阀、真空泵、真空腔体及管道等）是半导体各工艺制程环节必备的通用设备，广泛应用于芯片生产制造过程。真空泵维修价格

广州潽拓光电科技有限公司——Alcatel分子泵 真空泵维修价格