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由于涡轮分子泵是高速旋转的机械，因此轴承是涡轮分子泵的关键部件。涡轮分子泵的轴承有如下几种：

1、油润滑轴承

2、油脂润滑轴承

3、气膜轴承

4、磁悬浮轴承

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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如分子泵无法启动，运行噪音增大，温度或功率异常增加等，在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后，应尽快停泵，送到维修中心进行检修。

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一般的检漏仪只能设置大于某一漏率的报警值。因此在系统检漏时，当分流比过大却没有设置相应的分流比，或者当检漏阀门关闭或堵塞时，就有可能错过泄漏。