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由于涡轮分子泵是高速旋转的机械，因此轴承是涡轮分子泵的关键部件。涡轮分子泵的轴承有如下几种：

1、油润滑轴承

2、油脂润滑轴承

3、气膜轴承

4、磁悬浮轴承

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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岛津TMP-2804LMTC（L2）磁悬浮分子泵保养,Shimadzu岛津TMP-2804LMC磁悬浮分子泵维修，岛津TMP-2804LM磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-R04M

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分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。

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Shimadzu TMP-803LM岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D1003M。

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