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Varian意大利瓦里安分子泵于2010年被美国的Agilent安捷伦公司收购了,瓦里安Varian的分子泵几乎涵盖了所有可能的应用领域,特有的机电一体化的设计,具有前级耐压高的特性,适用于10-10-10毫巴的真空环境。
Varian复合分子泵性能优良,节能的同时也降低了发热,提高了复合分子泵的可靠性,优化了空气散热的冷却片,从而获得更高的稳定性。除此之外可以优化Turbo-V 81-M MacroTorr 复合分子泵的几何结构,提高前级耐压和足够大的抽气量,降低能耗和发热,可拆卸的前级管道接口可选空气或水冷却方式进行冷却。
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瓦里安Turbo-V 81-M分子泵产品图
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TV 301导航器不含污染物,因此适用于需要“清洁”真空的应用。它配备有辅助连接器,以提供一个附加的风扇,以控制排气阀,该风扇通过通过串行线(RS232或RS485)连接的主机从远程站点进行控制。TV 301 Tubro泵有四种型号,仅高真空法兰有所不同。该泵由一个高频电动机组成,该电动机驱动装有8个叶片级和3个Macrotorr级的涡轮机。从高真空法兰端看时,涡轮沿逆时针方向旋转。该涡轮机由高强度铝合金制成,并由一个整体加工而成。Macrotorr阶段为四个光盘的形式。涡轮转子由永jiu润滑的高精度陶瓷球轴承支撑,该轴承安装在泵的前排侧。定子的静叶片由不锈钢制成。这些由垫片环支撑并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的机加工盘形式,具有泵送通道和受相应转子盘限制的开口。这些由铝合金制成。
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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状,在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时,叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转,其周边的线速度一般200~300m/s,相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空,涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此,涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气,其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差,例如氢气,其压缩比仅有103 。
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广州潽拓光电科技维修Pfeiffer TURBO Pump普发TMH/TPH/TPU/HiPace/ATH/ATP/splitflon全系列涡轮分子泵,磁悬浮分子泵,分子泵机组,分子泵电源,氦气检漏仪,质谱仪,经验丰富,检测设备,技术可靠
广州潽拓光电科技有限公司——varian Agilent SH-110涡旋干泵
安捷伦科技的真空产品涉及从科研到工业的众多应用领域,包括高能物理,半导体工艺,化学,物理分析,以及真空镀膜,热处理等众多的工业应用。产品主要包括:机械泵、涡旋式干泵、分子泵、离子泵、扩散泵、氦质谱检漏仪、阀门、真空测量及配件等。无论是用于研发的灵活可靠的系统,还是用于常规工业真空加工的热处理系统,或适合在车间中实时检测泄露的快速耐用的便携解决方案,安捷伦都可提供相应的解决方案