广州潽拓光电科技有限公司--ULVAC爱发科分子泵维修;
除了可以承受更大的气体流量,谱拓系列分子泵还拥有其他TwissTorr分子泵除高压缩比之外的所有特点:
先进的连接选项(RS232、NFC、蓝牙等),可以通过A-Plus软件连接电脑或者通过VacuumLinkAPP用手机进行无线操控
AFS悬浮轴承技术,抗震性好,噪音低
免维护轴承,零运行成本
无油运行,可确保真空系统洁净
体积小巧,可安装在任何位置,有利于轻松集成
防辐射和防磁场设计,无嵌入式电子设备,可在强磁场和辐射环境下运行
低电磁辐射,确保不会干扰工艺制程
我们此前曾发布过几篇文章,讲到使用真空产品如何让企业节约成本、尝到甜头(详情请点击:这里)。今天,我们再给大家介绍一个在节能灯制作中应用分子泵节约成本的案例。
为什么要把替换为分子泵机组?在制造节能灯的企业单位,有相当一部分都采用圆排机自动线,生产,产品质量一致性好。
但是,圆排机一般配置均采用直联式真空泵和谱拓真空泵作为机组,这样便带来了新的问题:①耗电量高;②噪音大;③占用面积大。因此,各照明设备企业和照明生产企业都积极寻找新工艺新方法来进行技改,以求改善这些状况。在这个过程中,公司与上海涌真机械有限公司不谋而合,并与上海正贝照明一起达成共识,用分子泵机组来替代。
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通用的沉积技术有化学气相淀积(CVD)、蒸发和溅射PVD。一般来说,其中还要夹杂低温(≤500℃)退火工艺等热处理工艺,用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。设备运行过程中需要高洁净的真空环境,一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。
刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要材料的过程。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确地掩膜图形。现代化的干法刻蚀设备包括复杂的机械、电气和真空系统,同时配有自动化的刻蚀终点检测和控制装置。刻蚀应用工况复杂,清洁性差,充入特种气体种类繁多,因此需要特殊处理的干泵和磁悬浮分子泵。
离子注入设备:离子注入是指在真空环境下,当离子束射向固体材料时,受到固体材料的抵抗而速度慢慢减低下来,并很终停留在固体材料中的现象。离子注入是半导体表面附近区域进行掺杂的主要技术,其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。离子注入机是集成电路制造工序中的关键设备,需要高清洁的真空环境,以保证离子掺杂浓度和剂量的准确性。
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分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响?
今天,小编将向大家介绍分子泵转速对氦质谱检漏仪的灵敏度有什么影响,希望对大家有所帮助。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种泵。分子泵是获得高和超高的关键设备之一。
它被广泛应用于电子工业、表面工程、核能工业、等离子体技术、薄膜工程等工业领域和研究部门。它操作简单、启动时间短,在分子流区域内对各种气体的有效抽速几乎不变,对分子量高的气体压缩比高,可以获得清洁无油的高和超高环境。
分子泵是氦质谱检漏仪中获得高重要部位,是氦质谱检漏仪中不可或缺关键部件,分子泵性能直接影响检漏仪性能参数的好坏,分子泵的发展直接影响着氦质谱检漏技术。逆扩散型的检漏仪的检漏口是连接到高泵与低泵之间,所以被检试件的可检漏压力就是高真泵的前级耐压。如果试件压力超过这个压力,将使高泵不能正常工作。普通涡轮分子泵的前级耐压,一般不超过50Pa,远达不到高压检漏的要求。
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